PRECESS普瑞賽思高真空保護(hù)閘閥（V60系列）

V60高壓閘閥系列配備了VATLOCK技術(shù),，該技術(shù)是專門開發(fā)的,，可在閘門密封處提供可靠的密封而不會產(chǎn)生任何摩擦,。VATLOCK機(jī)構(gòu)還可以防止閥門故障，這要?dú)w功于關(guān)閉端位置的機(jī)械鎖定,。

憑借其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，V60系列滿足了可靠運(yùn)行的高壓閘閥的所有要求,。V60的設(shè)計(jì)可在大量工藝循環(huán)中可靠運(yùn)行,，為通用高壓閘閥樹立了標(biāo)準(zhǔn),。

該系列提供各種驅(qū)動和法蘭連接設(shè)計(jì)選項(xiàng)，因此可以輕松集成到任何高壓系統(tǒng)中,。各種特殊選項(xiàng),，如窗口和端口,，可確保與應(yīng)用程序的最佳匹配。

V60高壓閘閥可采用氣動驅(qū)動,。閥門可由控制器控制,，使閥門可在0.3秒或設(shè)定值內(nèi)關(guān)閉。電磁閥的標(biāo)準(zhǔn)電壓為24V DC,，但可根據(jù)要求提供其他電壓。閥門位置由一個雙位指示器指示——兩個開關(guān)分別用于“打開”和“關(guān)閉”位置——帶轉(zhuǎn)換觸點(diǎn),。

法蘭連接器的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)是ISO-F,、CF-F,、ASA-L和JIS?？梢约煽蛻舳ㄖ频膸Ш筒粠涞姆ㄌm。

特征

l在干式泵發(fā)生故障時,，保護(hù)工藝環(huán)境免受向下流動粉末的影響

l快速氣動打開和關(guān)閉小于0.3秒

l帶LCD顯示器的集成或獨(dú)立控制器

l機(jī)械鎖處于關(guān)閉位置

優(yōu)點(diǎn)

lDN63-630,，帶FKM O型圈閘門密封

l提供ISO-F CF-F ASA-LP JIS法蘭

應(yīng)用

l半導(dǎo)體加工

l在要求苛刻的工藝中使用真空泵或腔室隔離

l蝕刻,、CVD（MO,、PE、HDP,、LP）注入、濺射

l高顆粒物水平的納米技術(shù)工藝

l薄膜光伏板

PRECESS普瑞賽思高真空保護(hù)閘閥（V60系列）

技術(shù)參數(shù)