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MAKEWAY 掃描隧道顯微鏡/NAP-STM

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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料,、半導(dǎo)體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設(shè)備的供應(yīng)商,所銷售的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所,、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè),。目前總部在上海,香港,、南通,、深圳、北京分別設(shè)立分公司和辦事處,,快速響應(yīng)客戶需求,。同時(shí)上海麥科威在快速擴(kuò)展海外市場,并設(shè)立新加坡分公司,,輻射東南亞市場,。

      上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主要銷售產(chǎn)品包括:  - 霍爾效應(yīng)測試儀;  - 快速退火爐,;  - 回流焊爐,,共晶爐,釬焊爐,,真空燒結(jié)爐,;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī);  - 探針臺,,低溫探針臺,,微探針臺;  - 金剛石劃片機(jī),; - 球焊機(jī),,鍥焊機(jī);  - 磁控濺射鍍膜機(jī),;  - 原子層沉積系統(tǒng),,等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備;  - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler),; - 掃描開爾文探針系統(tǒng),; - 光學(xué)膜厚儀; -貼片機(jī)-PECVD\CVD,;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓?。?等離子清洗機(jī),、去膠機(jī),;-反應(yīng)離子刻蝕RIE; - 光刻機(jī)、無掩膜光刻機(jī),; - 勻膠機(jī),; - 熱板,烤膠板; -少子壽命,、太陽能模擬器,;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機(jī)-離子注入-劃片機(jī)、裂片機(jī)光刻機(jī)(針尖/電子束光刻機(jī)EBL,,紫外光刻機(jī),,激光直寫光刻機(jī)),鍍膜機(jī)(磁控濺射機(jī),,電子束蒸發(fā)機(jī),,化學(xué)沉積機(jī),微波等離子沉積機(jī),,原子層沉積機(jī)  等等…

企業(yè)客戶:華為技術(shù)有限公司,, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術(shù),, 安徽格恩半導(dǎo)體,, 蘇州稀晶半導(dǎo)體科技, 矽品半導(dǎo)體,, 廈門海辰新能源科科,, 中核同創(chuàng)(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(shù)(常州),,偉創(chuàng)力科技,, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,,廣東萬和集團(tuán),,西安西測股份,, 普源精電科技,, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車,, 北京華脈泰科,, 廣醫(yī)東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子,, 深圳市化訊半導(dǎo)體材料,, 珠海珍迎機(jī)電, 合肥鼎材科技,, 山東金晶節(jié)能玻璃,, 江蘇云意電氣股份, 廣東風(fēng)華技股份,, 浙江中能合控股集團(tuán),,固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導(dǎo)體,, 四川信通電子科技等,。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學(xué), 汕頭大學(xué),, 南方醫(yī)科大學(xué),, 清華大學(xué), 北京大學(xué),, 復(fù)旦大學(xué),, 西北工業(yè)大學(xué), 南京醫(yī)科大學(xué),, 香港中文大學(xué),, 香港城市大學(xué), 蘇州大學(xué),, 深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院,, 南京大學(xué)合肥國家試驗(yàn)室, 上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院,, 華南理工大學(xué),,華東師范大學(xué),江南大學(xué),,重慶26所,, 深圳大學(xué), 南方科技大學(xué),, 深圳技術(shù)大學(xué),, 理化技術(shù)研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心,, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院,, 桂林電子科技大學(xué), 上海硅酸鹽研究所,, 中國航天五院,,中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導(dǎo)體設(shè)備,,快速退火爐,,原子層沉積,鍵合機(jī),,光刻機(jī)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 1000萬-1500萬
儀器種類 掃描隧道顯微鏡 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

掃描隧道顯微鏡/NAP-STM(Scanning Tunneling Microscope, STM)是一種基于量子隧穿效應(yīng)的高分辨率表面分析儀器,,能夠在原子尺度上直接觀測導(dǎo)電材料的表面形貌。

掃描隧道顯微鏡/NAP-STM技術(shù)指標(biāo):

1.腔體結(jié)構(gòu)

1.1配置不銹鋼STM分析腔,,配備離子泵,、機(jī)械泵,、真空規(guī)等泵抽系統(tǒng),背景真空優(yōu)于1*10-9mbar

1.2配備不銹鋼快速進(jìn)樣室,,配備泵抽系統(tǒng),,背景真空優(yōu)于5*10-8mbar

2.近常壓變溫掃描頭

2.1最大掃描范圍不小于1.0μmx1.0μm(T>350K)

2.2X/Y方向的補(bǔ)償范圍:≥±750nm;Z方向?yàn)?plusmn;115nm

2.3氣壓工作范圍,,不小于UHV-100mbar

2.4溫度控制范圍:UHV條件下,,不小于220K-700K,10mbar壓力下,,不小于RT-500K

2.5低溫下(150K< T)

2.6掃描頭機(jī)械穩(wěn)定性(針尖固定位置不動,,在恒壓恒流模式下,Z中噪音的峰峰值):<5pm

2.7配備近常壓進(jìn)氣氣路

2.8配置溫度控制單元和樣品轉(zhuǎn)移機(jī)械手

3.STM控制器

3.1匹配前放增益1V/nA

3.2隧穿電流范圍:不小于0.01nA–50nA

3.3具有快速掃描功能,,數(shù)據(jù)獲取速度:不低于1000000像素/秒

3.4配備配套軟件和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)一套

4.針尖刻蝕離子源

4.1用于針尖原位處理,,離子能量范圍最大:不小于5keV

4.2離子束流(Ar氣)最大值:≥20μA



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