日韩av大片在线观看欧美成人不卡|午夜先锋看片|中国女人18毛片水多|免费xx高潮喷水|国产大片美女av|丰满老熟妇好大bbbbbbbbbbb|人妻上司四区|japanese人妻少妇乱中文|少妇做爰喷水高潮受不了|美女人妻被颜射的视频,亚洲国产精品久久艾草一,俄罗斯6一一11萝裸体自慰,午夜三级理论在线观看无码

官方微信|手機版

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設(shè)備>薄膜應(yīng)力測試儀>MKW-3800 薄膜應(yīng)力測試儀

MKW-3800 薄膜應(yīng)力測試儀

具體成交價以合同協(xié)議為準

聯(lián)系方式:王先生查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料、半導(dǎo)體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設(shè)備的供應(yīng)商,,所銷售的儀器設(shè)備廣泛用于高校,、研究所、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè),。目前總部在上海,,香港、南通,、深圳,、北京分別設(shè)立分公司和辦事處,快速響應(yīng)客戶需求,。同時上海麥科威在快速擴展海外市場,,并設(shè)立新加坡分公司,輻射東南亞市場,。

      上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主要銷售產(chǎn)品包括:  - 霍爾效應(yīng)測試儀,;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,,共晶爐,,釬焊爐,真空燒結(jié)爐,;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機,,熱蒸發(fā)鍍膜機;  - 探針臺,低溫探針臺,,微探針臺,;  - 金剛石劃片機; - 球焊機,,鍥焊機,;  - 磁控濺射鍍膜機;  - 原子層沉積系統(tǒng),,等離子增強原子層沉積設(shè)備,;  - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler),; - 掃描開爾文探針系統(tǒng); - 光學(xué)膜厚儀,; -貼片機-PECVD\CVD,;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓印,;-等離子清洗機,、去膠機;-反應(yīng)離子刻蝕RIE; - 光刻機,、無掩膜光刻機,; - 勻膠機; - 熱板,,烤膠板,; -少子壽命、太陽能模擬器,;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機-離子注入-劃片機,、裂片機光刻機(針尖/電子束光刻機EBL,紫外光刻機,,激光直寫光刻機),,鍍膜機(磁控濺射機,電子束蒸發(fā)機,,化學(xué)沉積機,,微波等離子沉積機,原子層沉積機  等等…

企業(yè)客戶:華為技術(shù)有限公司,, 深圳市鵬芯微集成電路制造,, 深圳清力技術(shù), 安徽格恩半導(dǎo)體,, 蘇州稀晶半導(dǎo)體科技,, 矽品半導(dǎo)體, 廈門海辰新能源科科,, 中核同創(chuàng)(成都)科技,, 洛瑪瑞芯片技術(shù)(常州),偉創(chuàng)力科技,, 奧普科星河北科技,,廣東五星太陽能,廣東萬和集團,,西安西測股份,, 普源精電科技, 普源精電科技股份,, 上海蔚來汽車,, 北京華脈泰科,, 廣醫(yī)東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子,, 深圳市化訊半導(dǎo)體材料, 珠海珍迎機電,, 合肥鼎材科技,, 山東金晶節(jié)能玻璃, 江蘇云意電氣股份,, 廣東風(fēng)華技股份,, 浙江中能合控股集團,固安維信諾,,淮安天合光能,,浙江老鷹半導(dǎo)體, 四川信通電子科技等,。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學(xué),, 汕頭大學(xué), 南方醫(yī)科大學(xué),, 清華大學(xué),, 北京大學(xué), 復(fù)旦大學(xué),, 西北工業(yè)大學(xué),, 南京醫(yī)科大學(xué), 香港中文大學(xué),, 香港城市大學(xué),, 蘇州大學(xué), 深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院,, 南京大學(xué)合肥國家試驗室,, 上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院, 華南理工大學(xué),,華東師范大學(xué),,江南大學(xué),重慶26所,, 深圳大學(xué),, 南方科技大學(xué), 深圳技術(shù)大學(xué),, 理化技術(shù)研究所,, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院,, 桂林電子科技大學(xué),, 上海硅酸鹽研究所,, 中國航天五院,中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等,。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導(dǎo)體設(shè)備,,快速退火爐,原子層沉積,,鍵合機,,光刻機

具備三維翹曲(平整度)及薄膜應(yīng)力的檢測功能,適用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn),、半導(dǎo)體制程工藝開發(fā),、玻璃及陶瓷晶圓生產(chǎn),尤其具有測量整面翹曲曲率分布的能力,。

優(yōu)勢

?? 全口徑均勻采樣測量,,采樣間隔最少可至0.1mm

?? 同時具備翹曲測量及應(yīng)力測量功能

?? 全直觀展現(xiàn)薄膜導(dǎo)致的晶圓形變,可計算整面應(yīng)力mapping和任意角度的曲率及應(yīng)力

?? 全豐富的軟件分析功能,,包括:三維翹曲圖,、晶圓翹曲參數(shù)統(tǒng)計(BOW,WARP等),、ROI分析,、薄膜應(yīng)力及分布、應(yīng)力隨時間變化,、薄膜應(yīng)力變溫測量,、曲率計算、多項式擬合,、空間濾波等多種后處理算法,。

 

適用對象

??  2-8 英寸透明、半透明或非透明的拋光晶圓(硅,、砷化鎵,、鉭酸鋰、玻璃,、藍寶石,、磷化銦、碳化硅,、氮化鎵等材質(zhì)),、鍵合晶圓、圖形晶圓,、方形玻璃等,。

?? 可檢測經(jīng)過薄膜工藝處理后的透明、半透明或非透明表面,薄膜材質(zhì)包含且不限于:Si,、 SiO2,、SiN、三氧化二鋁,、光刻膠,、金屬薄膜、膠黏劑,、納米高分子膜,、有機/無機雜化膜等。

 

 

適用領(lǐng)域

?? 半導(dǎo)體及玻璃晶圓的生產(chǎn)和質(zhì)量檢查

?? 半導(dǎo)體薄膜工藝的研究與開發(fā)

?? 半導(dǎo)體制程和封裝減薄工藝的過程控制和故障分析

 

測量原理

1. 晶圓制程中會在晶圓表面反復(fù)沉積薄膜,,基板與薄膜材料特性的差異導(dǎo)致晶圓翹曲,翹曲和薄膜應(yīng)力會對工藝良率產(chǎn)生重要影響

2. 采用結(jié)構(gòu)光反射成像方法測量晶圓的三維翹曲分布,,通過翹曲曲率半徑測量來推算薄膜應(yīng)力分布,,具有非接觸、免機械掃描和高采樣率特點,,6英寸晶圓全口徑測量時間低于30s

3. 通過Stoney公式及相關(guān)模型計算晶圓應(yīng)力分布

 

MKW-3800 技術(shù)規(guī)格

 

項目參數(shù)

測量對象2英寸-8英寸拋光/圖形晶圓

采樣間隔均勻全口徑采樣,,最小采樣間隔0.1mm

測量時間單次測量時間 <30s (6英寸晶圓全口徑)

三維翹曲翹曲測量范圍0.5μm-5000μm*

重復(fù)性0.2μm或1%精度0.5μm或1.5%

薄膜應(yīng)力應(yīng)力測量范圍1 MPa - 10000 MPa

曲率測量范圍0.5m-10000m

曲率半徑重復(fù)精度<1% 1σ (@曲率半徑25 m)

薄膜應(yīng)力重復(fù)精度1.5MPa或1%

工作軟件Stress Mapper 軟件:采圖、測量控制及計算分析

軟件功能三維翹曲顯示,、晶圓翹曲參數(shù)統(tǒng)計(BOW,,WARP等)、薄膜應(yīng)力及分布,、時變穩(wěn)定性分析,、多種擬合算法、空間濾波算法等

 

上海麥科威晶圓翹曲應(yīng)力測量儀將全口徑翹曲,、應(yīng)力,、表面瑕疵等分析整合進入每一次測量,確保我們的客戶能夠快速確認工藝,。

 



該廠商的其他產(chǎn)品



化工儀器網(wǎng)

采購商登錄
記住賬號    找回密碼
沒有賬號,?免費注冊

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,,勾選其他,,可自行輸入要求

個人信息:

溫馨提示

該企業(yè)已關(guān)閉在線交流功能