原裝供貨EBARA荏原 半導(dǎo)體液晶行業(yè)真空泵

原裝供貨EBARA荏原 半導(dǎo)體液晶行業(yè)真空泵

干式真空泵通過機(jī)械運動直接壓縮和排出氣體,，無需液體介質(zhì)，避免油污染問題,。其核心結(jié)構(gòu)類型包括：

螺桿式雙螺桿結(jié)構(gòu)：一對等速反向旋轉(zhuǎn)的螺桿轉(zhuǎn)子,，通過阿基米德螺旋線與擺線輪廓設(shè)計形成密閉腔體，實現(xiàn)氣體的連續(xù)吸入與排出?13,。

間隙控制：螺桿與泵腔保持微米級間隙,，減少摩擦損耗，支持高轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)（可達(dá)6000 rpm）,，提升抽氣效率,。

?多級羅茨式??多級串聯(lián)設(shè)計?：采用多級羅茨葉片轉(zhuǎn)子，通過逐級壓縮提高極限真空度（可達(dá)10?2 Pa）,，適用于含粉塵或腐蝕性氣體的環(huán)境?56,。

?無接觸嚙合?：轉(zhuǎn)子間無物理接觸，通過同步齒輪驅(qū)動,，降低磨損并延長使用壽命,。

渦旋式動靜渦旋盤嚙合：通過漸開線型渦旋盤形成連續(xù)壓縮腔，實現(xiàn)無油,、低振動運行,，極限真空度達(dá)10?1 Pa，適用于實驗室和小型設(shè)備,。

二,、性能優(yōu)勢與創(chuàng)新技術(shù)

?無污染與耐腐蝕性?采用全密封結(jié)構(gòu)（如陶瓷涂層,、不銹鋼材質(zhì)），防止?jié)櫥瓦M(jìn)入泵腔,，確保半導(dǎo)體制造,、食品加工等場景的潔凈度?34。

特殊防腐處理（如鍍鎳或PTFE涂層）的泵體,，耐受酸性氣體（如Cl?,、H?S）和有機(jī)溶劑。

智能控制與能效優(yōu)化?集成變頻調(diào)速系統(tǒng),，根據(jù)負(fù)載動態(tài)調(diào)節(jié)電機(jī)功率,，能耗降低20%以上。

傳感器實時監(jiān)測溫度,、振動等參數(shù),，結(jié)合物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)實現(xiàn)遠(yuǎn)程故障預(yù)警和維護(hù)提示。

模塊化與擴(kuò)展性支持多級串聯(lián)或并聯(lián),，抽速范圍覆蓋10–1000 m3/h，可適配不同真空需求（如半導(dǎo)體前級泵需搭配分子泵使用）,。

快速拆卸設(shè)計,，更換核心部件（如轉(zhuǎn)子、密封件）耗時縮短至2小時內(nèi),，減少停機(jī)損失,。

三、典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造刻蝕與沉積工藝：在等離子體刻蝕（如反應(yīng)離子刻蝕）中抽除腐蝕性氣體?

• ?結(jié)構(gòu)?：活塞在氣缸內(nèi)往復(fù)運動,，配以閥門控制氣流,。

• ?工作流程?：活塞后移時吸氣，前移時壓縮氣體并排出,。

• ?特點?：可達(dá)到較高真空度,，但振動較大。

• ?半導(dǎo)體工業(yè)?：在半導(dǎo)體制造中,，渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備,。由于半導(dǎo)體工藝需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，渦輪分子泵通過高效抽氣,，確保工藝過程中的高真空度,，從而保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率?。

• ?光學(xué)工業(yè)?：在光學(xué)工業(yè)中,，渦輪分子泵用于真空鍍膜,、真空燒結(jié)、真空蒸發(fā)等工藝,。其高真空度,、低噪音,、低震動的特點，使得光學(xué)鍍膜等工藝得以高質(zhì)量完成?,。

• ?醫(yī)藥工業(yè)?：在醫(yī)藥工業(yè)中,，渦輪分子泵主要應(yīng)用于真空干燥、真空蒸餾,、真空濃縮等工藝,。通過維持高真空度，有效避免藥品的氧化和變質(zhì),，確保藥品的質(zhì)量和安全性?,。

• ?食品工業(yè)?：在食品工業(yè)中，渦輪分子泵用于真空包裝,、真空蒸煮等工藝,。它能夠快速抽取食品包裝內(nèi)的氧氣，延長食品的保質(zhì)期,，同時保持食品的原有口感?,。

• ?化工工業(yè)?：在化工工業(yè)中，渦輪分子泵廣泛應(yīng)用于真空蒸餾,、真空干燥,、真空濃縮等關(guān)鍵工藝。高真空度的維持對于避免化工產(chǎn)品的氧化和變質(zhì)至關(guān)重要,，渦輪分子泵的高效性能為化工生產(chǎn)提供了有力保障?,。

• ?高能物理研究?：在高能物理研究中，渦輪分子泵用于加速器質(zhì)譜系統(tǒng)等設(shè)備中,，創(chuàng)造高真空環(huán)境,，以確保粒子加速和檢測的準(zhǔn)確性?。

• ?其他領(lǐng)域?：渦輪分子泵還廣泛應(yīng)用于鍍膜,、電子,、太陽能、真空爐,、離子刻蝕,、光盤制造、制燈,、航空航天,、核能源等相關(guān)行業(yè)和教學(xué)、科研單位,。

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