日本進(jìn)口EBARA荏原 半導(dǎo)體液晶行業(yè)真空泵

日本進(jìn)口EBARA荏原 半導(dǎo)體液晶行業(yè)真空泵

干式真空泵通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)直接壓縮和排出氣體，無(wú)需液體介質(zhì),，避免油污染問(wèn)題,。其核心結(jié)構(gòu)類型包括：

螺桿式雙螺桿結(jié)構(gòu)：一對(duì)等速反向旋轉(zhuǎn)的螺桿轉(zhuǎn)子，通過(guò)阿基米德螺旋線與擺線輪廓設(shè)計(jì)形成密閉腔體,，實(shí)現(xiàn)氣體的連續(xù)吸入與排出?13,。

間隙控制：螺桿與泵腔保持微米級(jí)間隙，減少摩擦損耗,，支持高轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)（可達(dá)6000 rpm）,，提升抽氣效率。

?多級(jí)羅茨式??多級(jí)串聯(lián)設(shè)計(jì)?：采用多級(jí)羅茨葉片轉(zhuǎn)子,，通過(guò)逐級(jí)壓縮提高極限真空度（可達(dá)10?2 Pa）,，適用于含粉塵或腐蝕性氣體的環(huán)境?56。

?無(wú)接觸嚙合?：轉(zhuǎn)子間無(wú)物理接觸,，通過(guò)同步齒輪驅(qū)動(dòng),，降低磨損并延長(zhǎng)使用壽命。

渦旋式動(dòng)靜渦旋盤嚙合：通過(guò)漸開(kāi)線型渦旋盤形成連續(xù)壓縮腔,，實(shí)現(xiàn)無(wú)油,、低振動(dòng)運(yùn)行，極限真空度達(dá)10?1 Pa,，適用于實(shí)驗(yàn)室和小型設(shè)備,。

二、性能優(yōu)勢(shì)與創(chuàng)新技術(shù)

?無(wú)污染與耐腐蝕性?采用全密封結(jié)構(gòu)（如陶瓷涂層,、不銹鋼材質(zhì)）,，防止?jié)櫥瓦M(jìn)入泵腔，確保半導(dǎo)體制造,、食品加工等場(chǎng)景的潔凈度?34,。

特殊防腐處理（如鍍鎳或PTFE涂層）的泵體，耐受酸性氣體（如Cl?,、H?S）和有機(jī)溶劑,。

智能控制與能效優(yōu)化?集成變頻調(diào)速系統(tǒng)，根據(jù)負(fù)載動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)電機(jī)功率，能耗降低20%以上,。

傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度,、振動(dòng)等參數(shù)，結(jié)合物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程故障預(yù)警和維護(hù)提示,。

模塊化與擴(kuò)展性支持多級(jí)串聯(lián)或并聯(lián),，抽速范圍覆蓋10–1000 m3/h，可適配不同真空需求（如半導(dǎo)體前級(jí)泵需搭配分子泵使用）,。

快速拆卸設(shè)計(jì),，更換核心部件（如轉(zhuǎn)子、密封件）耗時(shí)縮短至2小時(shí)內(nèi),，減少停機(jī)損失,。

三、典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造刻蝕與沉積工藝：在等離子體刻蝕（如反應(yīng)離子刻蝕）中抽除腐蝕性氣體?

• ?結(jié)構(gòu)?：活塞在氣缸內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng),，配以閥門控制氣流,。

• ?工作流程?：活塞后移時(shí)吸氣，前移時(shí)壓縮氣體并排出,。

• ?特點(diǎn)?：可達(dá)到較高真空度,，但振動(dòng)較大。

• ?半導(dǎo)體工業(yè)?：在半導(dǎo)體制造中,，渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備,。由于半導(dǎo)體工藝需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行，渦輪分子泵通過(guò)高效抽氣,，確保工藝過(guò)程中的高真空度，從而保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率?,。

• ?光學(xué)工業(yè)?：在光學(xué)工業(yè)中,，渦輪分子泵用于真空鍍膜、真空燒結(jié),、真空蒸發(fā)等工藝,。其高真空度、低噪音,、低震動(dòng)的特點(diǎn),，使得光學(xué)鍍膜等工藝得以高質(zhì)量完成?。

• ?醫(yī)藥工業(yè)?：在醫(yī)藥工業(yè)中,，渦輪分子泵主要應(yīng)用于真空干燥,、真空蒸餾、真空濃縮等工藝,。通過(guò)維持高真空度,，有效避免藥品的氧化和變質(zhì)，確保藥品的質(zhì)量和安全性?。

• ?食品工業(yè)?：在食品工業(yè)中,，渦輪分子泵用于真空包裝,、真空蒸煮等工藝。它能夠快速抽取食品包裝內(nèi)的氧氣,，延長(zhǎng)食品的保質(zhì)期,，同時(shí)保持食品的原有口感?。

• ?化工工業(yè)?：在化工工業(yè)中,，渦輪分子泵廣泛應(yīng)用于真空蒸餾,、真空干燥、真空濃縮等關(guān)鍵工藝,。高真空度的維持對(duì)于避免化工產(chǎn)品的氧化和變質(zhì)至關(guān)重要,，渦輪分子泵的高效性能為化工生產(chǎn)提供了有力保障?。

• ?高能物理研究?：在高能物理研究中,，渦輪分子泵用于加速器質(zhì)譜系統(tǒng)等設(shè)備中,，創(chuàng)造高真空環(huán)境，以確保粒子加速和檢測(cè)的準(zhǔn)確性?,。

• ?其他領(lǐng)域?：渦輪分子泵還廣泛應(yīng)用于鍍膜,、電子、太陽(yáng)能,、真空爐,、離子刻蝕、光盤制造,、制燈,、航空航天、核能源等相關(guān)行業(yè)和教學(xué),、科研單位,。

•