MC-11RC LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià) | ￥ 25280 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
- 品牌 LINTEC/琳得科
- 型號(hào) MC-11RC
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/3/26 15:38:12
- 訪問次數(shù) 54
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主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測,、科學(xué)儀器,、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備,、PC周邊用品,、作業(yè)工具用品、電源,、化學(xué)用品,、FA自動(dòng)化上萬種產(chǎn)品的銷售。
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-11RC
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-11RC
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller,，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備,。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器,、制閥以及控制回路所構(gòu)成,。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào),，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進(jìn)行流量的控制,。
型應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?,、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms）
鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制））
3. 制藥行業(yè)：
生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
| 15~35℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 150SLM | 橡膠 |
技術(shù)發(fā)展趨勢
智能化升級(jí)：
集成AI預(yù)測性維護(hù)功能
5G遠(yuǎn)程監(jiān)控與參數(shù)優(yōu)化
微型化發(fā)展：
MEMS流量傳感器（芯片級(jí)集成）
適用于便攜式分析儀器
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