MC-7100C LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià) | ￥ 25150 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國(guó)際貿(mào)易有限公司
- 品牌 LINTEC/琳得科
- 型號(hào) MC-7100C
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/3/28 10:52:12
- 訪問次數(shù) 45
MC-7100CLINTECMC-7100CLINTEC琳得科質(zhì)量流量控制器進(jìn)口質(zhì)量流量控制器
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主要經(jīng)營(yíng)光學(xué)設(shè)備,、電子計(jì)測(cè),、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備,、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備,、PC周邊用品、作業(yè)工具用品,、電源,、化學(xué)用品、FA自動(dòng)化上萬種產(chǎn)品的銷售,。
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100C
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-7100C
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller,，MFC）是一種用于精確測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化過程控制的核心組件,，MFC通過將質(zhì)量流量傳感器,、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實(shí)現(xiàn)對(duì)流體流量的高精度閉環(huán)控制,，典型控制精度可達(dá)±0.5%～±1.0%滿量程（FS）,。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器,、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成,。當(dāng)氣體流入后,，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào),，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度,，以此進(jìn)行流量的控制。
型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?,、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms）
鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制）
光伏硅烷沉積（流量波動(dòng)<±0.3%）
3. 制藥行業(yè)：
生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
凍干機(jī)惰性氣體保護(hù)（露點(diǎn)控制<-70℃）
無菌灌裝環(huán)境控制（ISO 5級(jí)潔凈度）
4. 科研實(shí)驗(yàn)：
催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）
質(zhì)譜儀載氣調(diào)節(jié)（0.1-10mL/min微流量）
環(huán)境模擬實(shí)驗(yàn)（溫濕度聯(lián)動(dòng)控制）
| 溫度 | 壓力規(guī)格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
關(guān)鍵性能指標(biāo)
參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)高性能型號(hào)
量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM
控制精度±1.0% FS±0.5% RD
重復(fù)性±0.2% FS±0.1% FS
響應(yīng)時(shí)間<1s<300ms
工作壓力0.1-0.5MPa真空-10MPa
溫度系數(shù)±0.05%/℃±0.01%/℃
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