湖北2噸半導(dǎo)體工業(yè)純水設(shè)備工藝

一、預(yù)處理階段

1. 多介質(zhì)過濾器

• 采用石英砂,、無煙煤,、活性炭等多層濾料，有效去除水中的懸浮物,、膠體,、有機(jī)物及部分重金屬離子。

• 通過自動(dòng)反沖洗裝置,，定期對(duì)過濾器進(jìn)行反沖洗,，恢復(fù)過濾性能，保證水質(zhì)穩(wěn)定。

2. 軟化器

• 利用鈉型陽離子交換樹脂,，去除水中的鈣,、鎂離子，降低原水硬度,。

• 通過軟化器自動(dòng)控制閥,，根據(jù)水質(zhì)硬度及流量自動(dòng)進(jìn)行再生，確保持續(xù)穩(wěn)定的軟水輸出,。

3. 精密過濾器

• 采用5微米孔徑的濾芯,，進(jìn)一步攔截水中的細(xì)微顆粒、微生物及碎片,，保護(hù)后續(xù)設(shè)備的正常運(yùn)行,。

二、反滲透（RO）系統(tǒng)

1. 高壓泵

• 為反滲透膜提供足夠的進(jìn)水壓力,，確保水分子能夠透過反滲透膜,。

2. 反滲透膜組件

• 選用高脫鹽率的聚酰胺復(fù)合膜，有效去除水中的溶解性鹽類,、有機(jī)物,、細(xì)菌、熱源等雜質(zhì),。

• 通過一級(jí)或二級(jí)反滲透設(shè)計(jì),，提高水質(zhì)純度，滿足半導(dǎo)體工業(yè)的基本用水要求,。

3. 反滲透清洗系統(tǒng)

• 定期對(duì)反滲透膜進(jìn)行化學(xué)清洗,，去除膜表面的污垢和堵塞物，恢復(fù)膜的通透性和脫鹽率,。

三,、連續(xù)電除鹽（EDI）系統(tǒng)

1. EDI模塊

• 結(jié)合離子交換樹脂和電滲析技術(shù)，實(shí)現(xiàn)水中離子的深度去除,。

• 在電場作用下,，離子透過離子交換膜遷移，同時(shí)水分子在電場作用下產(chǎn)生氫離子和氫氧根離子,，實(shí)現(xiàn)連續(xù)的離子交換和再生過程,。

2. 電源及控制單元

• 為EDI模塊提供穩(wěn)定的直流電源，通過智能控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)EDI運(yùn)行的監(jiān)控和調(diào)節(jié),。

3. 水質(zhì)監(jiān)測與循環(huán)系統(tǒng)

• 實(shí)時(shí)監(jiān)測EDI產(chǎn)水水質(zhì),，如電導(dǎo)率、硅含量等,，確保水質(zhì)符合半導(dǎo)體工業(yè)的超純水標(biāo)準(zhǔn),。

• 通過循環(huán)泵和流量計(jì),，實(shí)現(xiàn)EDI系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行和水質(zhì)的持續(xù)優(yōu)化。

四,、拋光與殺菌階段

1. 紫外線殺菌器

• 利用紫外線破壞微生物的DNA結(jié)構(gòu),，有效殺滅水中殘留的細(xì)菌、病毒等微生物,，確保水質(zhì)無菌,。

2. 終端拋光混床

• 采用核子級(jí)混床樹脂，進(jìn)一步去除水中殘留的離子和有機(jī)物,，提高水質(zhì)純度,。

• 通過自動(dòng)再生系統(tǒng)，保持混床樹脂的交換容量和使用壽命,。

五,、控制系統(tǒng)與監(jiān)測儀表

1. PLC可編程邏輯控制器

• 實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)純水設(shè)備的自動(dòng)化控制，包括預(yù)處理,、反滲透,、EDI、拋光等各個(gè)階段的運(yùn)行管理和故障報(bào)警,。

2. 水質(zhì)在線監(jiān)測儀表

• 實(shí)時(shí)監(jiān)測原水和產(chǎn)水的水質(zhì)參數(shù),，如電導(dǎo)率、pH值,、溫度,、流量、硅含量等,，為設(shè)備運(yùn)行提供數(shù)據(jù)支持,。

3. 遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)

• 通過網(wǎng)絡(luò)連接，實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備遠(yuǎn)程監(jiān)控和數(shù)據(jù)分析,，方便用戶及時(shí)了解設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)和維護(hù)需求,。

湖北2噸半導(dǎo)體工業(yè)純水設(shè)備，專為半導(dǎo)體行業(yè)高精度用水需求設(shè)計(jì),。該設(shè)備采用預(yù)處理,、反滲透、EDI連續(xù)電除鹽等核心工藝,，確保產(chǎn)出水質(zhì)達(dá)到半導(dǎo)體制造所需的高純度標(biāo)準(zhǔn)。預(yù)處理階段通過多級(jí)過濾與軟化,，去除水中懸浮物,、有機(jī)物及硬度離子，保護(hù)后續(xù)設(shè)備,。反滲透環(huán)節(jié)利用半透膜深度脫鹽,，大幅降低水中溶解性固體含量,。