EV-X100N 池田屋?。BARA荏原 干式真空泵 EV-X型
| 參考價 | ￥ 8945 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 池田屋實業(yè)(深圳)有限公司
- 品牌 EBARA/荏原
- 型號 EV-X100N
- 產地 日本
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/3/21 11:24:20
- 訪問次數(shù) 28
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| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
池田屋??！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X100N
池田屋！,！EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X100N
EV-X型
結構緊湊,、節(jié)能，單個裝置可覆蓋多種工藝
適用于中等負荷工藝
高溫控制
節(jié)能
采用耐腐蝕材料作為標準
提高耐腐蝕性的選擇
不同頻率下性能相同（50Hz/60Hz）
無油
符合 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 要求
占地面積小
該款中負荷工序用干式真空泵搭載了荏原d特的節(jié)能技術,，并采用了針對自動化工廠制造而優(yōu)化的模塊化設計,，實現(xiàn)了進一步的小型化和節(jié)能化。
寬范圍的溫度控制擴大了適用工藝,。
寬范圍的溫度控制擴大了適用工藝,。
由于同一型號可覆蓋多個工藝,，因此可優(yōu)化備用設備庫存，減少維護和培訓工作,，并可靈活適應未來的工藝擴展,。
此外,，通過對各工序進行最佳溫度控制，可提高工序耐性,，并可延長零件的更換周期，有助于降低TCoO,。
支持的應用示例：各種蝕刻和CVD,、灰化、離子注入,、外延生長等,。
支持的應用示例：各種蝕刻和CVD,、灰化、離子注入,、外延生長等,。
產品規(guī)格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大處理風量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到達壓力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 電源規(guī)格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到達底壓時消耗電力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
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