EV-M505SF EBARA荏原 高負荷工藝干式真空泵 半導體用
| 參考價 | ￥ 8120 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 池田屋實業(yè)(深圳)有限公司
- 品牌 EBARA/荏原
- 型號 EV-M505SF
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/3/22 16:26:32
- 訪問次數(shù) 31
產(chǎn)品標簽
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池田屋主要經(jīng)營日本科學儀器設(shè)備,、實驗室儀器,、各類檢測儀器、測量儀器,、食品設(shè)備,、光學設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品,。
| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
EBARA荏原 高負荷工藝干式真空泵 半導體用 EV-M505SF
EBARA荏原 高負荷工藝干式真空泵 半導體用 EV-M505SF
EV-M型
適合節(jié)能和高負荷工藝的干式真空泵
高負荷工藝支持
高溫控制
節(jié)能
采用耐腐蝕材料作為標準
提高耐腐蝕性的選擇
不同頻率下性能相同（50/60Hz）
無油
符合 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 要求
產(chǎn)品介紹
荏原的高溫技術(shù)支持半導體,、液晶顯示器和太陽能電池制造過程中產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物的高負荷工藝。
高節(jié)能性能可同時實現(xiàn)高負荷工藝和節(jié)能,。
標準配置為耐腐蝕材料,，并且還包括排量為110,000 L/min的大排量型號。
我們擁有適合各種工藝條件的豐富產(chǎn)品陣容,，能夠處理各種高負荷工藝,。
規(guī)格
| 模型 | 單元 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 抽氣速度 | 升/分鐘 | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 5萬 | 5萬 | 8萬 | 8萬 | 110,000 | |
| 極限壓力 | 帕 | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 連接尺寸 | 進氣 | NW40 | ISO100 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
| 排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 極限壓力下的近似功率值 | 千瓦 | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 冷卻水 | 流動 | 升/分鐘 | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | ℃ | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
| 氮氣 | 流動 | 帕•立方米/秒 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型號 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 供電容量 | 千伏安 | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 近似質(zhì)量 | 公斤 | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 | |
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