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CG-P系列 等離子清洗機(jī)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 CG-P系列
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/5/22 10:43:58
  • 訪問次數(shù) 192

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     合肥重光電子科技有限公司是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備的生產(chǎn)商,。針對國家大力扶持的太陽能電池和半導(dǎo)體等科技領(lǐng)域。

        我司有專業(yè)的檢測儀器和工藝實驗設(shè)備,,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求,。同時我司與中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納加工平臺,、合肥工業(yè)大學(xué)微納加工平臺保持技術(shù)上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問題,。

        我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務(wù),,滿足客戶對自營品牌的需求,,讓客戶從而實現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運(yùn)營,。

        ‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢:提供定制化服務(wù),,滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費,。其中低速勻膠平穩(wěn),,結(jié)束低粘度光阻勻膠依賴進(jìn)口品牌,。

 

 

 

勻膠,、熱板、顯影,、等離子,、光刻設(shè)備

等離子清洗機(jī)應(yīng)用行業(yè):

半導(dǎo)體行業(yè)

芯片粘接前處理、引線框,、架的表面處理、 BGA 封裝等有效去除表面油性污垢和有機(jī)污染物粒子,。

材料行業(yè)

PI表面粗化,、PPS 蝕刻、PN 結(jié)去除,、 ITO 膜蝕刻ITO 涂覆前表面清洗,,提高粘接及涂覆的可靠性,。

陶瓷行業(yè)

封裝、點膠前處理,,有效去除表面油性污垢和有機(jī)污染物粒子,,提升粘膠、封裝質(zhì)量,。

PCB/FPC 行業(yè)

金屬鍵合前、塑封前,、底部填充前處理,、光刻膠去除、基板表面活化,、鍍膜去除靜電及有機(jī)污染物,。

LED行業(yè)

點銀膠、固晶前,、引線鍵合前處理、 LED 封裝,,去除污染物,,加大粘合強(qiáng)度,減少氣泡,,提高發(fā)光率,。

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

真空等離子體表面處理系統(tǒng)主要包括三個部分:真空腔及真空系統(tǒng),等離子體發(fā)生器,,控制系統(tǒng),。

真空腔及真空發(fā)生系統(tǒng)

真空腔固定于機(jī)柜框架內(nèi),左右兩側(cè)為可拆門,,因此內(nèi)部的真空腔及真空系統(tǒng)的維修是極方便的,。

真空發(fā)生系

統(tǒng)由波紋管,、KF 接頭、真空泵以及油霧過濾器組成,,核心部件真空泵(真空泵組),。

等離子體發(fā)生器

等離子體發(fā)生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓,產(chǎn)生低溫等離子體,。利用高頻轉(zhuǎn)換技術(shù)形成高頻電 壓加到電極板上,,當(dāng)真空腔內(nèi)達(dá)到一定真空度時,,產(chǎn)生等離子體放電現(xiàn)象,放電后電路會自動調(diào)節(jié)電壓到適當(dāng)

值,,保證電路正常穩(wěn)定放電,。

控制系統(tǒng)

本系統(tǒng)使用觸摸屏、PLC,、 中文界面,。設(shè)備的工藝流程控制:真空泵啟動->擋板閥開啟>達(dá)到設(shè)定的真空度->通入工藝氣體>RF 放電->工作時間到破真空->工作完成,。設(shè)備分自動和手動兩種方式。

主要技術(shù)參數(shù):

1 設(shè)備外觀:噴塑處理

外形尺寸:720(寬)×620(高)×600(深)不含機(jī)械泵

2 反應(yīng)倉材質(zhì):不銹鋼,、反應(yīng)倉尺寸:250(寬)×200(高)×250(深)

3 等離子體頻率:13.56MHz

4 射頻電源功率:0-300W 可調(diào)

5 設(shè)備功率:≤1kW

6 控制方式:

采用包括觸摸屏人機(jī)界面的 PLC 控制,,操作方式包括自動模式和手動模式。在自動模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理,,可同時存儲50組不同的配方,。使用時只需要將相應(yīng)配方號調(diào)出即可,。設(shè)備參數(shù)分級管理,設(shè)備操作員,、工藝人員,、維護(hù)人員使用不同口令管理不同參數(shù),提高設(shè)備安全性,。手動模式用于實驗工藝以及設(shè)備維護(hù)維修,。

7 MFC 質(zhì)量流量計控制(標(biāo)準(zhǔn)配置2路)

8 氣體流量:

工藝氣體(氧,、氬等): (0~200)ml/min  (標(biāo)準(zhǔn)氣壓,0℃)

9 工作氣體(標(biāo)配為氧、氬)接口壓力:0.1MPa  (若需其它氣體需作聲

明)凈化冷卻氣體(氮氣)接口壓力:0.5MPa

10 設(shè)備工作節(jié)拍:空運(yùn)轉(zhuǎn)單次清洗時間≤5min

11 設(shè)備MES兼容接口:設(shè)備通過數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)將工藝參數(shù)傳輸至MES平臺更多選擇可咨詢,,如4寸等離子清洗機(jī),、多層等離子清洗,更大尺寸等,。

質(zhì)保:一年

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