主要技術(shù)參數(shù)：

1 設(shè)備外觀：噴塑處理

外形尺寸：720（寬）×620（高）×600（深）不含機(jī)械泵

2 反應(yīng)倉材質(zhì)：不銹鋼,、反應(yīng)倉尺寸：250（寬）×200（高）×250（深）

3 等離子體頻率：13.56MHz

4 射頻電源功率：0-300W 可調(diào)

5 設(shè)備功率：≤1kW

6 控制方式：

等離子清洗機(jī)采用包括觸摸屏人機(jī)界面的 PLC 控制,，操作方式包括自動模式和手動模式。在自動模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理,，可同時存儲50組不同的配方,。使用時只需要將相應(yīng)配方號調(diào)出即可。設(shè)備參數(shù)分級管理,，設(shè)備操作員,、工藝人員,、維護(hù)人員使用不同口令管理不同參數(shù)，提高設(shè)備安全性,。手動模式用于實(shí)驗(yàn)工藝以及設(shè)備維護(hù)維修,。

7 MFC 質(zhì)量流量計(jì)控制（標(biāo)準(zhǔn)配置2路）

8 氣體流量：

工藝氣體(氧、氬等)： (0～200)ml/min  （標(biāo)準(zhǔn)氣壓,0℃)

9 工作氣體(標(biāo)配為氧,、氬)接口壓力：0.1MPa  （若需其它氣體需作聲

明）凈化冷卻氣體（氮?dú)猓┙涌趬毫Γ?.5MPa

10 設(shè)備工作節(jié)拍：空運(yùn)轉(zhuǎn)單次清洗時間≤5min

11 設(shè)備MES兼容接口：設(shè)備通過數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)將工藝參數(shù)傳輸至MES平臺

更多選擇可咨詢,，如4寸等離子清洗機(jī)、多層等離子清洗機(jī),。