CG-P系列 等離子清洗機(jī)
- 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CG-P系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/5/22 10:43:58
- 訪問次數(shù) 192
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等離子清洗機(jī)應(yīng)用行業(yè):
半導(dǎo)體行業(yè)
芯片粘接前處理、引線框,、架的表面處理、 BGA 封裝等有效去除表面油性污垢和有機(jī)污染物粒子,。
材料行業(yè)
PI表面粗化,、PPS 蝕刻、PN 結(jié)去除,、 ITO 膜蝕刻ITO 涂覆前表面清洗,,提高粘接及涂覆的可靠性,。
陶瓷行業(yè)
封裝、點膠前處理,,有效去除表面油性污垢和有機(jī)污染物粒子,,提升粘膠、封裝質(zhì)量,。
PCB/FPC 行業(yè)
金屬鍵合前、塑封前,、底部填充前處理,、光刻膠去除、基板表面活化,、鍍膜去除靜電及有機(jī)污染物,。
LED行業(yè)
點銀膠、固晶前,、引線鍵合前處理、 LED 封裝,,去除污染物,,加大粘合強(qiáng)度,減少氣泡,,提高發(fā)光率,。
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
真空等離子體表面處理系統(tǒng)主要包括三個部分:真空腔及真空系統(tǒng),等離子體發(fā)生器,,控制系統(tǒng),。
真空腔及真空發(fā)生系統(tǒng)
真空腔固定于機(jī)柜框架內(nèi),左右兩側(cè)為可拆門,,因此內(nèi)部的真空腔及真空系統(tǒng)的維修是極方便的,。
真空發(fā)生系
統(tǒng)由波紋管,、KF 接頭、真空泵以及油霧過濾器組成,,核心部件真空泵(真空泵組),。
等離子體發(fā)生器
等離子體發(fā)生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓,產(chǎn)生低溫等離子體,。利用高頻轉(zhuǎn)換技術(shù)形成高頻電 壓加到電極板上,,當(dāng)真空腔內(nèi)達(dá)到一定真空度時,,產(chǎn)生等離子體放電現(xiàn)象,放電后電路會自動調(diào)節(jié)電壓到適當(dāng)
值,,保證電路正常穩(wěn)定放電,。
控制系統(tǒng)
本系統(tǒng)使用觸摸屏、PLC,、 中文界面,。設(shè)備的工藝流程控制:真空泵啟動->擋板閥開啟>達(dá)到設(shè)定的真空度->通入工藝氣體>RF 放電->工作時間到破真空->工作完成,。設(shè)備分自動和手動兩種方式。
主要技術(shù)參數(shù):
1 設(shè)備外觀:噴塑處理
外形尺寸:720(寬)×620(高)×600(深)不含機(jī)械泵
2 反應(yīng)倉材質(zhì):不銹鋼,、反應(yīng)倉尺寸:250(寬)×200(高)×250(深)
3 等離子體頻率:13.56MHz
4 射頻電源功率:0-300W 可調(diào)
5 設(shè)備功率:≤1kW
6 控制方式:
采用包括觸摸屏人機(jī)界面的 PLC 控制,,操作方式包括自動模式和手動模式。在自動模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理,,可同時存儲50組不同的配方,。使用時只需要將相應(yīng)配方號調(diào)出即可,。設(shè)備參數(shù)分級管理,設(shè)備操作員,、工藝人員,、維護(hù)人員使用不同口令管理不同參數(shù),提高設(shè)備安全性,。手動模式用于實驗工藝以及設(shè)備維護(hù)維修,。
7 MFC 質(zhì)量流量計控制(標(biāo)準(zhǔn)配置2路)
8 氣體流量:
工藝氣體(氧,、氬等): (0~200)ml/min (標(biāo)準(zhǔn)氣壓,0℃)
9 工作氣體(標(biāo)配為氧、氬)接口壓力:0.1MPa (若需其它氣體需作聲
明)凈化冷卻氣體(氮氣)接口壓力:0.5MPa
10 設(shè)備工作節(jié)拍:空運(yùn)轉(zhuǎn)單次清洗時間≤5min
11 設(shè)備MES兼容接口:設(shè)備通過數(shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)將工藝參數(shù)傳輸至MES平臺更多選擇可咨詢,,如4寸等離子清洗機(jī),、多層等離子清洗,更大尺寸等,。
質(zhì)保:一年