化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>制冷設(shè)備>冷水機(jī)/冷卻循環(huán)水機(jī)>ETCU-200W 半導(dǎo)體用高精度冷水機(jī)丨助力芯片良率提升
ETCU-200W 半導(dǎo)體用高精度冷水機(jī)丨助力芯片良率提升
參考價(jià) | ¥ 157366 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
- 品牌 冠亞恒溫
- 型號(hào) ETCU-200W
- 產(chǎn)地 江蘇省無錫市錫山區(qū)翰林路55號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/3/20 11:29:25
- 訪問次數(shù) 11
聯(lián)系方式:劉經(jīng)理13912479193 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
制冷加熱循環(huán)器、加熱制冷控溫系統(tǒng),、反應(yīng)釜溫控系統(tǒng),、加熱循環(huán)器、低溫冷凍機(jī),、低溫制冷循環(huán)器,、冷卻水循環(huán)器、工業(yè)冷處理低溫箱,、低溫冷凍機(jī),、加熱制冷恒溫槽等設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬-50萬 |
---|---|---|---|
冷卻方式 | 水冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
半導(dǎo)體用高精度冷水機(jī)丨助力芯片良率提升
半導(dǎo)體用高精度冷水機(jī)丨助力芯片良率提升
在半導(dǎo)體制造的復(fù)雜流程中,刻蝕工藝是通過使用化學(xué)或物理方法,,有選擇性地去除晶圓表面的材料,,以形成電路圖案。而在這一工藝過程中,,刻蝕工藝?yán)鋮schiller保障刻蝕工藝的順利進(jìn)行,。
刻蝕工藝對(duì)環(huán)境溫度有著高要求。溫度的波動(dòng)會(huì)影響刻蝕速率和刻蝕的均勻性,。如果溫度過高,,刻蝕劑的化學(xué)反應(yīng)增強(qiáng),可能導(dǎo)致刻蝕速率過快,,難以控制刻蝕和圖案的精度,;反之,溫度過低則會(huì)使刻蝕速率變慢,,可能造成刻蝕不的情況,。此外,溫度不均勻還會(huì)導(dǎo)致晶圓不同區(qū)域的刻蝕程度不一致,。
刻蝕工藝?yán)鋮schiller是如何滿足刻蝕工藝對(duì)溫度的嚴(yán)苛要求呢,?其核心技術(shù)在于溫度調(diào)節(jié)和穩(wěn)定的控溫能力??涛g工藝?yán)鋮schiller的制冷循環(huán)系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)溫度控制的基礎(chǔ),。壓縮機(jī)將制冷劑壓縮升溫,高溫高壓的制冷劑氣體進(jìn)入冷凝器,,在這里釋放熱量并冷凝成液體,。隨后,液態(tài)制冷劑經(jīng)過節(jié)流裝置降壓降溫,,進(jìn)入蒸發(fā)器,。在蒸發(fā)器中,制冷劑吸收周圍熱量,,實(shí)現(xiàn)制冷效果,,從而降低刻蝕設(shè)備及周邊環(huán)境的溫度,。
刻蝕工藝?yán)鋮schiller的循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì),并配備磁力驅(qū)動(dòng)泵,,這種設(shè)計(jì)避免了冷卻液的泄漏和外界雜質(zhì)的混入,,確保了系統(tǒng)的穩(wěn)定和可靠。同時(shí),,其控制系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的溫度控制,,可以為刻蝕工藝提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境。
不同類型的刻蝕工藝?yán)鋮schiller適用于不同的刻蝕工藝場(chǎng)景,。比如氣體降溫控溫系列的 Chiller,,適用于對(duì)通入刻蝕設(shè)備的氣體進(jìn)行降溫處理,確保氣體在合適的溫度下參與刻蝕反應(yīng),;直冷型 Chiller 則可以將制冷劑直接輸出到目標(biāo)控制元件進(jìn)行換熱,,在一些對(duì)換熱效率要求高的刻蝕工藝中發(fā)揮作用;而快速溫變控溫卡盤能夠?qū)崿F(xiàn)快速的溫度變化和控制,,滿足某些特殊刻蝕工藝對(duì)溫度動(dòng)態(tài)響應(yīng)的需求,。
在實(shí)際的半導(dǎo)體制造工廠中,刻蝕工藝?yán)鋮schiller與刻蝕設(shè)備緊密配合,,成為保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一,。隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷向發(fā)展,刻蝕工藝?yán)鋮schiller將不斷提升控溫精度,、響應(yīng)速度,,繼續(xù)為刻蝕工藝以及整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)的支持。
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- FLTZ-203W-2T 半導(dǎo)體冷水機(jī)丨刻蝕/鍍膜工藝專用冷卻方案
- ETCU-300W 工業(yè)級(jí)變頻冷水機(jī)組丨半導(dǎo)體封裝冷卻方案
- ETCU-100W 光刻機(jī)配套純水冷水機(jī)丨精密檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室機(jī)型
- AES-4535 光刻機(jī)溫度控制裝置該如何選型
- AES-4535 光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知
- AES-4535 半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)
- AES-4535 蝕刻機(jī)水冷機(jī)需要注意的選購細(xì)節(jié)有哪些
- AES-4535 光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些