半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護保養(yǎng)要細節(jié)

半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護保養(yǎng)要細節(jié)

　　半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置在長時間的使用過程中，也需要對半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置進行必要的檢查和維護保養(yǎng),，定期維護有利于半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置制冷效率,，同時也有利于延長壽命。

　　1,、檢查并且校正半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置溫控器,，確保溫控器正常顯示。

　　2,、檢查半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的冷媒量,，如果不夠,，需要及時補充冷媒。

　　3,、對半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的整個電控系統(tǒng),、主機電路系統(tǒng)做一次徹查，確保正常,。

　　4,、試機運行并進行總校正，測試過熱度是否正常,，各個部件有無異常聲音等,。

　　5、清洗半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的冷凝器/蒸發(fā)器,，如果水質(zhì)不是太差的話,，建議累積運行半年清洗一次。半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置在長時間運行當中,，會有很多水雜質(zhì)產(chǎn)生,，會影響制冷效果以及使用壽命等。

　　6,、檢查冷凍油及潤滑油系統(tǒng),，如有污染建議對其進行更換，以利壓縮機更加自如的運轉(zhuǎn),。

　　7,、對半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置壓縮機馬達線圈進行測試。

　　8,、檢查并且校正半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置的高、低壓壓力開關(guān),，確定高,、低壓壓力在正常范圍內(nèi)。

9,、檢查干燥過濾器是否正常,，有沒有堵塞，必要時應(yīng)予以更換全新的干燥過濾器,。