SteeVac260/360/460 真空鍍膜儀不銹鋼腔體系列-東譜科技
- 公司名稱 東譜科技（廣州）有限責任公司
- 品牌 東譜
- 型號 SteeVac260/360/460
- 產(chǎn)地 中國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/3/11 11:14:31
- 訪問次數(shù) 8
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| 應用領域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥,綜合 |
|---|
產(chǎn)品簡介
SteeVac系列可提供200A蒸鍍電流,，蒸發(fā)溫度可600°C，能夠滿足大部分有機材料的蒸鍍,，也可按客戶需求定制更高蒸鍍溫度,；真空腔室采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料，采用方形結構,，內(nèi)部空間充足,；可設置16組不同的蒸發(fā)材料，滿足各種復雜的蒸鍍條件,；搭配分子泵可達優(yōu)于5*10-4Pa的真空度,，適應絕大部分蒸發(fā)材料所需真空環(huán)境；配備全自動抽真空系統(tǒng),；可以實現(xiàn)軟件點擊開啟抽真空,，全自動根據(jù)真空度檢測機械泵、分子泵,、閘板閥,、電磁閥的智能開啟，實現(xiàn)鼠標一鍵式抽真空,。配備手套箱防抽爆自動檢測系統(tǒng),。
產(chǎn)品特點
□ 自動切換掩膜系統(tǒng)；
□ 自動開關腔體,，自動抽真空,、退真空系統(tǒng)；
□ 自動鍍膜工藝,；
□ 完善的錯誤檢測系統(tǒng)
□ 優(yōu)異的鍍膜均勻性,；
□ 提供定制化服務。
產(chǎn)品應用
□ 有機分子薄膜制備,；
□ 半導體薄膜制備,；
□ 光學薄膜制備；
□ 金屬電極制備,；
□ 典型樣品：OLED,、鈣鈦礦、薄膜電池,、薄膜晶體管等,。
功能參數(shù)
□ 蒸發(fā)源數(shù)量：2~16組可選；
□ 蒸發(fā)電流：0~200A連續(xù)可調(diào),；
□ 蒸發(fā)電源模組：1~10組可選,，功率600W,1200W,1500W可選；
□ 極限真空：優(yōu)于4*10-5Pa；
□ 樣品與蒸發(fā)源距離：固定或0~70mm可調(diào),；
□ 鎢舟擋板：按蒸發(fā)源標配,，2~16組；
□ 氣壓保護：進口壓力開關,，正負壓可設置,，有效保護真空環(huán)境；
□ 抽氣速率：常壓至5*10-2Pa≤10min,；
□ 掩膜庫：4位/6位/8位可選,；
□ 真空保持：停止真空系統(tǒng)后12小時≤2 Pa；
□ 門板控制：手動,、手動自動集成可選,。
規(guī)格型號
| 參數(shù)/規(guī)格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
| 鍍膜方式 | 多源熱蒸發(fā)鍍膜 | 多源熱蒸發(fā)鍍膜 | 熱蒸發(fā)鍍膜 |
| 腔體結構 | 方形,，前后開門,，可配合手套箱安裝 | 方形，前后開門,，可配合手套箱安裝 | 方形,，前后開門，可配合手套箱安裝 |
| 材質(zhì)用料 | 優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼 | 優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼 | 優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼 |
| 真空腔室尺寸 | L260*W262*H351 | L360*W363*H486 | L460*W464*H635 |
| 電極分布 | 扇形分布,，相互間擋板隔離,，避免交叉污染 | 扇形分布，相互間擋板隔離,，避免交叉污染 | 扇形分布,，相互間擋板隔離，避免交叉污染 |
| 低溫源（有機/氧化物等）數(shù)量 | 最多6個蒸發(fā)源 | 最多9個蒸發(fā)源 | 最多13個蒸發(fā)源 |
| 低溫源溫度范圍 | 室溫~600°C | 室溫~600°C | 室溫~600°C |
| 低溫源切換 | PC控制/手動 | PC控制/手動 | PC控制/手動 |
| 高溫源（金屬）數(shù)量 | 1~3可選 | 1~4可選 | 1~6可選 |
| 基片臺（樣品架）方案一 | φ161mm,，圓形 | φ224mm,，圓形 | φ287mm，圓形 |
| 基片臺（樣品架）方案二 | 80*80mm,方形 | 110*110mm,，方形 | 150*150mm,，方形 |
| 基片臺（樣品架）加熱 | 常溫/加熱，加熱可選配室溫~400℃或室溫~200℃溫控范圍 | ||
| 基片臺（樣品架）高度 | 樣品架與源表面距離：≤330mm,；裝片方式：側插方式 | ||
| 樣品托及掩模版 | 70×70mm,，可放置65×65mm樣品 | 100×100mm，可放置90×90mm樣品 | 134×134mm樣品或放16片25×25mm樣品 |
| 參數(shù)/規(guī)格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
| 基片臺擋板 | 程控,，氣缸+磁流體驅(qū)動,，傳動穩(wěn)定，密封可靠 | 程控,，氣缸+磁流體驅(qū)動,，傳動穩(wěn)定，密封可靠 | 程控,，氣缸+磁流體驅(qū)動,，傳動穩(wěn)定,，密封可靠 |
| 基片臺升降 | 固定間距或0~30mm可調(diào) | 固定間距或0~50mm可調(diào) | 固定間距或0~70mm可調(diào) |
| 基片尺寸 | ≤30×30mm | ≤30×30mm | ≤30×30mm |
| 膜厚不均勻性 | ≤5% | ≤5% | ≤5% |
| 備用接口 | 4 | 6 | 6 |
| 門板控制 | 手動/自動/手自一體 | 手動/自動/手自一體 | 手動/自動/手自一體 |
| 系統(tǒng)控制 | PC軟件；速率自動控制,，功率控制,，溫度控制。 | PC軟件,；速率自動控制,，功率控制，溫度控制,。 | PC軟件,；速率自動控制，功率控制,，溫度控制,。 |
| 蒸鍍過程控制 | 各操作環(huán)節(jié)，掩膜板更換,、樣品架旋轉及定位,、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成 | 各操作環(huán)節(jié)，掩膜板更換,、樣品架旋轉及定位,、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成 | 各操作環(huán)節(jié)，掩膜板更換,、樣品架旋轉及定位,、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成 |
| 總功率 | ≥5KW | ≥8KW | ≥10KW |
| 抽氣速率 | 5.0×10-2Pa≤5min | 5.0×10-2Pa≤8min | 5×10-2Pa≤10min |
| 極限真空 | 優(yōu)于4.0×10-5Pa | 優(yōu)于4.0×10-5Pa | 優(yōu)于4.0×10-5Pa |
| 漏率 | ≤6.5×10-8Pa·L/S | ≤6.5×10-8Pa·L/S | ≤6.5×10-8Pa·L/S |
| 工作真空 | ≥5×10-4Pa，從大氣到工作真空時間≤30min | ||
| 系統(tǒng)保壓 | 系統(tǒng)抽到極限后,，停泵關機12小時后,，系統(tǒng)真空度保持≤2Pa | ||
| 參數(shù)/規(guī)格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
| 分子泵類別 | 油/脂潤滑、磁懸浮可選 | 油/脂潤滑,、磁懸浮可選 | 油/脂潤滑,、磁懸浮可選 |
| 冷卻系統(tǒng) | 搭配循環(huán)水冷卻 | 搭配循環(huán)水冷卻 | 搭配循環(huán)水冷卻 |
| 循環(huán)水參數(shù) | ≤4LMP，溫度范圍-5°C~45°C,，溫控精度0.1% | ≤4LMP,，溫度范圍-5°C~45°C，溫控精度0.1% | |
| 掩膜庫一 | 4位 | 4位 | 4位 |
| 掩膜庫二 | 6位 | 6位 | 6位 |
| 掩膜庫 | 8位 | 8位 | 8位 |
| 真空系統(tǒng) | 分子泵+機械泵，PC軟件控制 | 分子泵+機械泵,，PC軟件控制 | 分子泵+機械泵,，PC軟件控制 |
| 蒸發(fā)電源 | 控制方式：恒流模式； 數(shù)量：按客戶要求； 功率：600W,1200W,，1500W可選,； 精度：程控精度為量程的0.01%。 | 控制方式：恒流模式,； 數(shù)量：按客戶要求,； 功率：600W,1200W，1500W可選,； 精度：程控精度為量程的0.01%,。 | 控制方式：恒流模式； 數(shù)量：按客戶要求,； 功率：600W,1200W,，1500W可選； 精度：程控精度為量程的0.01%,。 |
| 典型：金屬源×4套,，有機源×4套，內(nèi)門,，外門下方各放兩只有機源,，左右各放兩只金屬源,；有機源可開艙調(diào)整角度,，帶有標尺，范圍豎直到指向樣品中心,。 | |||
| 真空保持 | 12小時≤2Pa | 12小時≤2Pa | 12小時≤2Pa |
| 系統(tǒng)保護 | 氣壓,、高壓保護，控制系統(tǒng)全程即時報警 | 氣壓,、高壓保護,，控制系統(tǒng)全程即時報警 | 氣壓、高壓保護,，控制系統(tǒng)全程即時報警 |
| 參數(shù)/規(guī)格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
| 氣路控制 | 超高真空氣動電磁閥 | 超高真空氣動電磁閥 | 超高真空氣動電磁閥 |
| 電氣柜 | 與系統(tǒng)一體式集成化,，節(jié)省空間 | 與系統(tǒng)一體式集成化，節(jié)省空間 | 與系統(tǒng)一體式集成化,，節(jié)省空間 |
| 腔室測溫 | 可選高精度PT100測溫,，軟件實時顯示溫度值 | 可選高精度PT100測溫，軟件實時顯示溫度值 | 可選高精度PT100測溫,，軟件實時顯示溫度值 |
| 膜厚儀 | 腔室內(nèi)可安裝1~8個探頭標配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀,；可選國產(chǎn)或進口監(jiān)測控制儀 | 腔室內(nèi)可安裝1~8個探頭標配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀；可選國產(chǎn)或進口監(jiān)測控制儀 | 腔室內(nèi)可安裝1~8個探頭標配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀,；可選國產(chǎn)或進口監(jiān)測控制儀 |
| 真空計顯示范圍 | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa |
| 機架 | 進口鋁型材組裝,，整體簡潔大方 | 進口鋁型材組裝，整體簡潔大方 | 進口鋁型材組裝，整體簡潔大方 |
| 顯示屏 | 搭配工業(yè)級屏幕支架,，可任意角度旋轉及隨意升降,，滿足不同用戶的舒適要求 | 搭配工業(yè)級屏幕支架，可任意角度旋轉及隨意升降,，滿足不同用戶的舒適要求 | 搭配工業(yè)級屏幕支架,，可任意角度旋轉及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求 |
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