KLA iNano®納米壓痕儀采用了用于執(zhí)行納米壓痕和通用納米機械測試的InForce 50作動器,。InForce 50的50 mN力和50µm位移范圍允許該系統(tǒng)執(zhí)行廣泛的測試,。InView 軟件包靈活、現(xiàn)代,，讓用戶輕松進行納米尺度測試,。KLA iNano®納米壓痕儀是一個緊湊的平臺，內置有高速InQuest控制器和隔振機架,?？梢詼y試各種材料和裝置，包括金屬,、陶瓷,、復合材料、薄膜,、涂層,、聚合物、生物物質和凝膠,。

功能

• InForce 50作動器用于電容位移測量和電磁力驅動,，具有可互換的壓頭

• 軟件集成壓頭校準系統(tǒng)，精確的壓頭校準

• Inquest高速電子控制器,，具有100kHz數(shù)據(jù)采集速率和20µs時間常數(shù)

• XY移動系統(tǒng)帶有易于安裝的磁性樣品架

• 具有數(shù)字變焦功能的集成顯微鏡,，可獲得精確的壓痕定位

• ISO 14577和標準化測試方法

• 包含RunTest、ReviewData,、InFocus報告,、 InView University 在線培訓和InView移動應用程序的InView軟件包

應用

• 硬度和模量測量(Oliver-Pharr)

• 材料力學性能分布圖

• ISO 14577硬度測試

• 聚合物損耗因子

• 高溫納米壓痕測試

行業(yè)

• 大學、研究實驗室和研究所

• 半導體和封裝行業(yè)

• 聚合物和塑料

• MEMS：微機電系統(tǒng)/納米尺度通用測試

• 陶瓷和玻璃

• 金屬和合金

• 藥品

• 涂料和油漆

• 聚合物制造

• 復合材料

• 電池和儲能