MFC300 質(zhì)量流量控制器
參考價 | ¥ 4600 |
訂貨量 | ≥10只 |
- 公司名稱 蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司
- 品牌 愛拓利
- 型號 MFC300
- 產(chǎn)地 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/2/26 10:44:51
- 訪問次數(shù) 53
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥,電氣 |
MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,,該系列采用 MEMS 流量傳感器,,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,,寬量程比,、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn),。
產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng):5ms 測量響應(yīng),,300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性,,寬量程比
更小體積,安裝方便
無需預(yù)熱,,使用便捷
分階流量控制軟件,,靈活配置
主要參數(shù)
介質(zhì)要求
潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air,N2,,02,,Ar,CH4,,CO2
測量和控制范圍 0.2%-100%F.S. (1:500)
準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm,,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,,0-50 sccm可選)
傳感器響應(yīng)時間 5ms
控制響應(yīng)時間 300ms
預(yù)熱時間 ≤1s
閥門 常閉式