Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器,。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測量儀主機，可配置四個具有軟件控制,、可水平移動,、可拋棄滴液頭的自動滴液器，以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺,。

晶圓上的接觸角測量對于評估這些材料的潤濕性和表面特性至關(guān)重要,，這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造。通過評估液滴與晶片表面接觸的角度,，研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能,。這些信息對于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要,。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用,，最終提高電子設(shè)備的性能和可靠性。

晶圓接觸角測量儀應(yīng)用

• 研究表面清潔度

接觸角測量可以評估晶圓的清潔度,，從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況,。

• 確定表面自由能

通過測量接觸角，可以推斷出表面自由能,，這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要,。

• 了解粘附性能

接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。

• 研究親水性/疏水性

測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水,，從而影響光刻和蝕刻等工藝,。

• 用于質(zhì)量控制

定期的接觸角測量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分，以確保晶圓加工和處理的一致性,。

支持晶圓接觸角測量的軟件功能

• 批量模式,，用于對一排多個晶圓進行快速測量。

• 標準座滴法,，可進行更深入的分析,。

晶圓自動旋轉(zhuǎn)臺

Theta系列晶圓樣品臺是一種由軟件控制的電動平臺，用于旋轉(zhuǎn)晶圓,，以實現(xiàn)直徑高達12英寸晶圓的接觸角自動定位測量,。

Theta系列晶圓樣品臺包括旋轉(zhuǎn)臺（T340R）和晶圓臺面（T340RW）。晶圓臺面的插銷有助于晶圓的高精度對準和定位,。定位銷還有助于在測量過程中將晶圓保持在適當(dāng)?shù)奈恢?。為了進一步固定晶圓，還可以通過內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵,。

Theta系列晶圓樣品臺連接到自動XYZ樣品臺,，可以自動定位直徑高達12英寸的晶圓。為了最大限度地提高旋轉(zhuǎn)臺的性能,，建議將其與四個可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用,。這將允許自動進行表面自由能測量,，或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測量次數(shù)。