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Gasboard-2061 紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

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  四方光電(武漢)儀器有限公司為四方光電股份有限公司(688665.SH)的全資子公司,前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統有限公司,,是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業(yè),,服務于環(huán)境監(jiān)測、過程氣體監(jiān)測,、智慧計量等領域,。
  基于四方光電核心氣體傳感技術平臺的優(yōu)勢,四方儀器開發(fā)了系列非分光紅外(NDIR),、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS),、激光拉曼(LRD),、超聲波(Ultrasonic)、熱導(TCD),、光散射探測(LSD)等技術原理的氣體成分流量儀器儀表,,產品廣泛應用于環(huán)境監(jiān)測、冶金,、煤化工,、生物質能源等各個行業(yè),在節(jié)能減排中發(fā)揮重要作用,。四方儀器自主研發(fā)生產的便攜式紅外沼氣分析儀,、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產品證書,,紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學會優(yōu).秀.產品獎榮譽,,其核心技術獲得湖北省發(fā)明專.li金獎。四方儀器“微流紅外煙氣傳感器研究及產業(yè)化”獲得*2019年工業(yè)強基工程重點“產品,、工藝”一.條.long應用計劃示范項目,,公司獲得一.條.long”應用計劃示范企業(yè)。
  四方儀器憑借長期的技術沉淀,、嚴格的質量體系及國際化視野,,產品已出口多個國家和地區(qū),正在朝著氣體分析科學儀器的國際品牌邁進,。












氣體分析儀,沼氣分析儀,煤氣分析儀,煙氣分析儀,尾氣分析儀,過程氣體分析儀,氣體流量計,氣體傳感器,溫室氣體分析儀,汽車排放氣體分析儀

應用領域 環(huán)保,能源

紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝


產品名稱:紅外氣體傳感器

產品型號:Gasboard-2061


紅外氣體傳感器產品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6,、CF4,、SF6、NF3,、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸,、法蘭和通訊協議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測,、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量,。


紅外氣體傳感器產品特性

(1)使用NDIR技術,多氣體監(jiān)測支持(WF6,、CF4,、SF6、NF3,、CO2等氣體)

(2)響應時間快,,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數字通信

(5)模塊化設計,便于集成


紅外氣體傳感器技術參數


檢測原理NDIR
檢測氣體WF6,、CF4,、SF6,、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm







應用領域

半導體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測



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