功能材料電化學(xué)遷移評(píng)估系統(tǒng)?

    功能材料電化學(xué)遷移評(píng)估系統(tǒng)?是一種用于評(píng)估材料在電化學(xué)遷移（ECM）條件下的性能的設(shè)備,。該系統(tǒng)能夠模擬電化學(xué)遷移的環(huán)境條件,，對(duì)樣品施加電壓并監(jiān)測(cè)其電化學(xué)遷移行為，從而評(píng)估材料的耐電化學(xué)遷移性能和絕緣電阻,。

隨著半導(dǎo)體器件小型化的進(jìn)展,，在過(guò)于苛刻的條件下評(píng)估電遷移變得至關(guān)重要。電遷移評(píng)估系統(tǒng)提供基于溫度和電流應(yīng)力（影響器械使用壽命的兩個(gè)主要因素）的準(zhǔn)確測(cè)量以及用于確定判斷器械壽命所需參數(shù)的分析軟件,。電化學(xué)遷移評(píng)價(jià)系統(tǒng)旨在滿足廣泛的評(píng)估需求,，從前沿評(píng)估到生產(chǎn)管理，提供增強(qiáng)的可操作性,、優(yōu)異的可靠性和簡(jiǎn)化的數(shù)據(jù)分析。

性能

240通道評(píng)價(jià)試驗(yàn) 在單個(gè)櫥柜中的3個(gè)烤箱中

2個(gè)通道 (DUT) = 1個(gè)插座

5個(gè)插座 = 1個(gè) DUT 板

8個(gè) DUT 板 = 1個(gè)烤箱

3個(gè)烘箱 = 1個(gè)柜

在單個(gè)烤箱中最多可測(cè)試80個(gè)通道或DUT,，使每個(gè)機(jī)柜有240個(gè)通道,。然而，主機(jī) PC 可以控制多達(dá)1200個(gè)通道或5個(gè)滿載機(jī)柜,。

高精度溫度 控制在350°C以下

該烘箱能夠檢測(cè)高達(dá)350℃的溫度,，并在300℃下提供±3.5℃的高度準(zhǔn)確溫度分布。每個(gè)烘箱均配有獨(dú)立的控制器,，用于單獨(dú)的溫度設(shè)置,。

當(dāng)前應(yīng)力應(yīng)用至200 mA

能夠施加0.1 mA至 200 mA 之間的應(yīng)力電流。

高度可靠的雙重接觸 板結(jié)構(gòu)

DUT 板和插座連接具有雙觸點(diǎn)結(jié)構(gòu),，以實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)的固定,。該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)確保在高溫下進(jìn)行長(zhǎng)期評(píng)價(jià)的可靠性更高。

*350°C的標(biāo)準(zhǔn)模型插座（300 mil和600 mil）,。也可提供250℃型號(hào)（僅600 mil）（可選）,。

連接板

引腳分配亂序功能使得即使使用具有不同引腳布局的 DUT 也可以評(píng)估 ESPEC DUT 板。

四種試驗(yàn)?zāi)Ｊ?/span>

能夠在強(qiáng)制降解溫度和電流下通過(guò)測(cè)量電阻進(jìn)行四種不同的檢測(cè)：電遷移,、強(qiáng)制降解遷移,、溫度特性 (TCR) 和擠壓。