化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>退火爐>CY-T1200-80IT-MRTP 智能型滑動(dòng)式快速退火爐
CY-T1200-80IT-MRTP 智能型滑動(dòng)式快速退火爐
參考價(jià) | ¥ 15000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱(chēng) 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CY-T1200-80IT-MRTP
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/18 10:59:19
- 訪問(wèn)次數(shù) 33
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詳情介紹:
在半導(dǎo)體工業(yè)中,,硅是最基本的材料。智能型滑動(dòng)式快速退火爐可用于硅片的摻雜后的退火處理,。例如,,在通過(guò)離子注入向硅片中引入硼(B)、磷(P)等雜質(zhì)元素后,,利用該退火爐能快速激活這些雜質(zhì)原子,,修復(fù)離子注入過(guò)程中硅晶格所受到的損傷。這有助于形成所需的 P - N 結(jié),,而 P - N 結(jié)是幾乎所有半導(dǎo)體器件(如二極管,、晶體管)的基本結(jié)構(gòu)單元。
像砷化鎵(GaAs),、氮化鎵(GaN)等化合物半導(dǎo)體材料,,在光電子和高速電子器件領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。這種退火爐可以對(duì)它們進(jìn)行退火,,改善材料的晶體質(zhì)量和電學(xué)性能,。比如,對(duì)于 GaN 基的藍(lán)光發(fā)光二極管(LED)制造過(guò)程,,退火能夠減少材料中的缺陷,,提高 LED 的發(fā)光效率和壽命。
產(chǎn)品名稱(chēng) | 智能型滑動(dòng)式快速退火爐 |
常規(guī)型號(hào) | CY-T1200-50IT-MRTP(爐管直徑:50mm) |
CY-T1200-60IT-MRTP(爐管直徑:60mm) | |
CY-T1200-80IT-MRTP(爐管直徑:80mm) | |
CY-T1200-100IT-MRTP(爐管直徑:100mm) | |
爐膛模式 | 一體式 |
極限溫度 | 1200℃ |
升溫速率 | ≤20℃(建議:10℃/min) |
加熱溫區(qū) | 單溫區(qū) |
溫區(qū)長(zhǎng)度 | 440mm |
恒溫區(qū)長(zhǎng) | 260mm |
爐管可選 | 石英管,、剛玉管 |
爐管長(zhǎng)度 | 1000mm |
氣密性 | 4.03×10-3Pa |
控制模式 | 智能PID |
控溫精度 | ±1℃ |
測(cè)溫元件 | 根據(jù)使用溫度不同可選K型熱電偶或B型熱電偶 |
電氣認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
供電電源 | 220V 50Hz |
整機(jī)功率 | 2.5KW |
外形尺寸 | 630×470×610 mm |
售后服務(wù) | 12個(gè)月質(zhì)保,,終身保修 |
包裝形式 | 三合板木質(zhì)包裝箱 |
隨機(jī)配件 | 石英爐管;真空法蘭;爐管堵塞;O型密封圈;防護(hù)手套;坩堝爐鉤;說(shuō)明書(shū); |