RZJ-304 光刻膠是由蘇州瑞紅生產(chǎn)的正性光刻膠,，以下是其詳細(xì)介紹：
成分
主要由丙二醇甲醚醋酸酯,、甲酚 - 甲醛酚醛樹(shù)脂（CAS-NO.9016-83-5，濃度 21%）,、6 - 重氮 - 5,6 - 二氫 - 5 - 氧代 - 1 - 萘磺酸與 2,3,4 - 三羥基二苯甲酮的酯化物（CAS-NO.68510-93-0,，濃度 6%）等成分組成.
性能特點(diǎn)
光刻精度較高：能夠?qū)崿F(xiàn)較為精細(xì)的光刻圖案，線條寬度和間距可以達(dá)到較小的尺寸,，適用于對(duì)光刻精度要求較高的微納加工工藝，如集成電路制造,、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）加工等領(lǐng)域.
分辨率良好：具備較好的分辨率,，能夠清晰地將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移到基底上，對(duì)于復(fù)雜的圖形結(jié)構(gòu)也能夠較好地呈現(xiàn),，有助于制造出具有高精度和高性能的微納器件.
工藝適應(yīng)性強(qiáng)：可以適應(yīng)多種光刻工藝條件,，如不同的曝光能量、顯影時(shí)間等,。在一定的工藝參數(shù)范圍內(nèi),，都能夠獲得穩(wěn)定可靠的光刻效果，這使得它在不同的生產(chǎn)環(huán)境和工藝要求下都具有較好的應(yīng)用靈活性.
與基底結(jié)合力較好：與常見(jiàn)的半導(dǎo)體基底材料,，如硅片等,，具有良好的粘附性，能夠牢固地附著在基底表面,，在光刻過(guò)程中不易出現(xiàn)光刻膠脫落或剝離的現(xiàn)象,，從而保證了光刻圖案的完整性和準(zhǔn)確性。
技術(shù)參數(shù)
粘度：有 25mpa?s 和 50mpa?s 兩種規(guī)格可選.
配用顯影液：RZX-3038.
推薦工藝條件
涂布：溫度 23℃,，采用旋轉(zhuǎn)涂布的方式,，可獲得 1.0～3.5μm 的膜厚。
前烘：在熱板上 100℃條件下烘烤 90 秒,。
曝光：曝光能量為 50～75mj/cm2,。
顯影：在 23℃下,，使用 RZX-3038 顯影液，顯影時(shí)間 1 分鐘,，可采用噴淋或浸漬的方式,。
清洗：用去離子水清洗 30 秒。
后烘：在熱板上 120℃條件下烘烤 120 秒 ,。