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172nm準分子燈設備

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172nm設備準分子燈裝置

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南京博創(chuàng)半導體設備有限公司成立于2019年主體經(jīng)營:1.半導體制造相關(guān)設備:鍵合/解鍵合設備/晶圓清洗設備/涂膠設備/剝離設備2.半導體用高清潔傳送設備:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.納米印壓設備:8寸/12寸全自動量產(chǎn)設備和R&D研發(fā)設備4.FDP/PLP設備:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解鍵合設備5.UV系列產(chǎn)品:UV Laser/Excimer UV燈/UVLED燈/牛尾-濱松-ORC照度計 所在地 :江蘇省南京市棲霞區(qū)(新港開發(fā)區(qū))恒泰路6號



172nm準分子,,臭氧發(fā)生器,照度計,,Robot,,EB照射器

供貨周期 一個月以上 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,印刷包裝,電氣

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172nm準分子燈設備將化學上結(jié)合產(chǎn)生不了分子的疝氣等稀有氣體封在石英里,施加電壓進行放電,,原子激化與其他原子結(jié)合產(chǎn)生分子。

E + Xe → e + Xe*Xe* + Xe + Xe → Xe2* + Xe被激發(fā)出來的的激元分子(Xe2*)回到原本的狀態(tài)(基底)時發(fā)出172nm単一波的紫外光,。172nm光子能量比大多數(shù)的物質(zhì)分子結(jié)合能量要大,。出現(xiàn)光子能量比分子結(jié)合力大的時候,僅通過光子的作用就能切斷分子,。

172nm準分子燈設備特點為:瞬間點燈,、滅燈、不使用水銀無需點燈穩(wěn)定期,、就可以瞬間點燈和滅燈是不使用水銀的環(huán)保型UV低溫處理不會產(chǎn)生其它波長的光,,工件溫度幾乎不會升高高光能量172nm?166kcal/mol.?7.2eV的高光能可以短時間內(nèi)進行表面改質(zhì)無損傷光子的作用分解分子結(jié)合,不會產(chǎn)生像電暈處理和等離子處理的顆粒和粉塵,。基本不會對基材放電,,不會產(chǎn)生物理上的損傷。

有效長 1501700mm以上 1數(shù)根根據(jù)必要的有效度,、數(shù)量,,可以1cm為單度制作照度控制功能燈的各燈的照度分開控制功能,。照射面一側(cè)沒有電極,無電極構(gòu)造燈座兼有外部電極,,不需要通常燈照射面上必要的網(wǎng)眼和格子狀電極,。不會有光的遮擋、損失,、衰減也不會出現(xiàn)隨著使用時間而產(chǎn)生照度低下的問題●不需要氮氣即使沒有氮氣也可以處理,。使用時時通過燈座縫隙噴射氮氣,可以大幅削使用量RF放電方式 沒有閃爍的超高照度燈管70mW/c, 120mW/c, 170mW/c㎡以上也有超過200mW/c超高照度




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