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干式超聲波清洗機

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南京博創(chuàng)半導體設備有限公司成立于2019年主體經(jīng)營:1.半導體制造相關設備:鍵合/解鍵合設備/晶圓清洗設備/涂膠設備/剝離設備2.半導體用高清潔傳送設備:EFEM/Robot/Aligner/Porter3.納米印壓設備:8寸/12寸全自動量產設備和R&D研發(fā)設備4.FDP/PLP設備:SlitCoater+VCD+OVEN+UV解鍵合設備5.UV系列產品:UV Laser/Excimer UV燈/UVLED燈/牛尾-濱松-ORC照度計 所在地 :江蘇省南京市棲霞區(qū)(新港開發(fā)區(qū))恒泰路6號



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USC全稱叫干式超聲波清洗機

干式超聲波清洗機由風機柜、清洗頭和連接軟管組成,。

通過風機柜產生的潔凈氣體經(jīng)過軟管后從清洗頭高速噴出,,氣體經(jīng)過清洗頭內部的超聲波發(fā)生器會產生高頻聲波。高速氣體和高頻聲波共同作用下,,可對工件表面的微小塵埃進行有效清潔,。

清洗頭出氣口兩側設計有真空腔,可將清洗頭噴出的氣體回收,,噴出氣體清潔工件后所攜帶的微塵也會回收到風機柜內。

1.干式氣體清潔,,無需耗材

2.無接觸清潔,,不損傷工件

3.高效過濾氣體,不污染工件

4.清洗氣體回收,,不影響環(huán)境

5.超聲波發(fā)生器性能衰減

超聲波(ultrasonic )是比人類能夠聽到的震動數(shù),即可聽振動數(shù)(20 ~ 20,000 Hz)更高的振動數(shù),。是指在20kHz以上向哪個方向振蕩傳送達音波。 超聲波可以把能量集中到銳角,向一定方向發(fā)射,介質不同有如光,具有反射,折射的性質,。 超聲波可根據(jù)傳播方式,用于深度測量,醫(yī)學診斷,清潔及加工等,。 頻率高、強度大,明顯比一般聲波波長短,有方向的對微小的部分傳達能量,。CTS USC通常發(fā)生40kHz~70kHz的超聲波,。

清洗機能夠透過空氣層,將聲波的能量傳達到基板的表面,,可以去除十分微小的異物 ,。

1. CTS USC的特點是 Pressure line中對空氣進行反復壓縮和膨脹處理,通過空氣間的互相沖突自然形成的Pressure air超聲波將 Panel 上殘留的Particle 與面板進行分離 進行清洗的方式,。2. 一般,,Air knife 對于清洗微細粒子具有顯著作用,但是清洗能力只能達到50%左右,,相比較,,采用 Ultrasonic Air方式,清洗力能達到98%以上,。





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