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NLD-5700 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) NLD-5700
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/11/25 14:29:55
- 訪問(wèn)次數(shù) 152
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真空泵;離心機(jī),;監(jiān)測(cè)儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計(jì)數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備,環(huán)境測(cè)量設(shè)備 環(huán)境檢測(cè)設(shè)備
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體光電干法刻蝕設(shè)備
用于光電器件和MEMS的
干法刻蝕設(shè)備NLD-5700
用于光器件和MEMS的NLD-5700干法刻蝕系統(tǒng)是配備磁中性線等離子體（NLD）源的用于大規(guī)模生產(chǎn)的干法刻蝕系統(tǒng),。 （采用磁中性線等離子體（NLD）的低壓,、低電子溫度、高密度等離子體的干式蝕刻設(shè)備,，由ULVAC原創(chuàng)開發(fā),。）
特征
通過(guò)在潔凈室內(nèi)工作，潔凈室可以擴(kuò)展到兩個(gè)房間（NLD,、磁場(chǎng)ICP,、CCP和灰化室）。
NLD是一種可以在空間和時(shí)間上控制的等離子體,，因此干洗很容易,。
實(shí)現(xiàn)輕松的腔室維護(hù)。
我們提供從掩模蝕刻到石英和玻璃蝕刻的工藝解決方案,。
半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng),。
用途
光學(xué)器件（衍射光柵、調(diào)制器,、光波導(dǎo),、光開關(guān)等）、不均勻微透鏡,。
流體路徑創(chuàng)建 (μ-TAS) 和光子晶體,。
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