化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設(shè)備>其它晶圓缺陷檢測設(shè)備>Luminous NA-8000 日本ULVAC愛發(fā)科半導體灰化裝置NA系列
Luminous NA-8000 日本ULVAC愛發(fā)科半導體灰化裝置NA系列
- 公司名稱 玉崎科學儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Luminous NA-8000
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/25 14:16:10
- 訪問次數(shù) 117
聯(lián)系方式：吳曉雨19270095986 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,，謝謝!
真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備 環(huán)境檢測設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科半導體灰化裝置NA系列
日本ULVAC愛發(fā)科半導體灰化裝置NA系列
灰化裝置LuminousNA系列
Luminous NA 系列是一款不受晶圓尺寸限制的灰化系統(tǒng),，可以處理從關(guān)鍵的下一代晶圓工藝到晶圓級安裝工藝的各種工藝,。
特征
可以執(zhí)行關(guān)鍵的下一代晶圓工藝所需的1×10 16原子/cm 2或更高的無損傷離子注入剝離工藝和聚合物去除工藝。
腔室配置適合氟基氣體添加工藝,，使其無顆粒,。因此，可以構(gòu)建從普通PR到離子注入剝離,、有機膜剝離（PI,、DFR等）剝離、氧化膜蝕刻等廣泛的工藝,。
采用簡單的設(shè)備配置,，同時實現(xiàn)了“出色的可維護性和可靠性”和“低成本”。
可以實現(xiàn)靈活的腔室配置（μwave、RIE,、μwave + RIE）,，并且可以選擇多種傳輸路線。
晶圓尺寸只需通過配方設(shè)置即可更改,，因此更改晶圓尺寸非常容易,。
目的
離子注入剝離工藝（1 x 10 16原子/cm 2或更多）和前端工藝中的聚合物去除
需要CF4添加工藝的晶圓工藝（電子元件/LED）
芯片尺寸封裝和BUMP工藝
CCD彩色濾光片制造工藝
規(guī)格
| 模型 | 兼容晶圓尺寸 |
| Luminous NA-8000 | 100毫米、125毫米,、150毫米和200毫米 |
| Luminous NA-1300 | 200毫米和300毫米 |
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- inoLab pH7000 德國WTW玉科優(yōu)選全新實驗室pH計原裝直出
- OxiTop i 德國WTW 玉科嚴選 BOD 測量裝置
- OxiTop IDS 德國WTW 玉科嚴選 BOD/呼吸活動計
- TriOxmatic 德國WTW玉科嚴選在線隔膜式溶解氧傳感器
- FDO 700IQ 德國WTW玉科嚴選在線光學溶解氧傳感器
- ProfiLine Oxi 3000 德國WTW全新便攜式溶解氧計水質(zhì)測量器
- inoLab Oxi 7310 德國WTW原裝實驗室溶解氧計玉科優(yōu)勢供應(yīng)
- FDO Multi3510 德國WTW原裝光學便攜式溶解氧計優(yōu)勢供應(yīng)
采購中心
化工儀器網(wǎng)