【設(shè)備特點(diǎn)】

1,、精確溫濕度調(diào)控：確保曝光機(jī),、顯影/ 涂布設(shè)備等制程良率

2、定制化風(fēng)量設(shè)計(jì)：根據(jù)客戶的具體需求,，定制風(fēng)量,，送風(fēng)單元結(jié)構(gòu)均勻布置，確?？諝饬魍ǖ木鶆蛐?，進(jìn)一步提升制程質(zhì)量,。

3、超準(zhǔn)溫度控制：溫度控制精度高達(dá)±0.01℃,，遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),，為產(chǎn)線環(huán)境提供了穩(wěn)定性，從而確保了產(chǎn)品的優(yōu)良率,。

【產(chǎn)品應(yīng)用】

1,、溫度控制精度：±0.1℃~±0.01℃

2、濕度控制精度：±2%RH~±1%RH

3,、廣泛適用領(lǐng)域：該設(shè)備廣泛應(yīng)用于面板廠,、晶圓廠、封裝測(cè)試廠等精密溫濕度控制領(lǐng)域,，助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量,，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定與高效。