鄭科探  高真空分子泵機組的原理

分子泵 (Molecular pump)是一種用于實現(xiàn)和維持高真空和超高真空環(huán)境的設(shè)備,。它的工作原理基于氣體分子的動量傳遞，通過機械手段將氣體分子從真空系統(tǒng)中排出,。

工作原理

分子泵的工作過程可以概括為以下幾個步驟

1.旋轉(zhuǎn)葉片:

分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的葉片(或稱轉(zhuǎn)子),，通常以每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)的速度旋轉(zhuǎn)。

葉片與定子之間形成非常小的間隙,。

2.氣體分子的動量傳遞:

氣體分子在碰撞到高速旋轉(zhuǎn)的葉片時,，會被賦予動量。

這種動量使得氣體分子沿葉片的旋轉(zhuǎn)方向被加速,，逐步向泵的排氣口移動,。3.多級結(jié)構(gòu):

分子泵通常具有多級葉片結(jié)構(gòu)，通過多次碰撞和動量傳遞,，使氣體分子逐級排出

每一級都進一步降低系統(tǒng)的壓力,，達到所需的真空度。

分子泵的優(yōu)勢

分子泵在高真空和超高真空應(yīng)用中具有許多顯著的優(yōu)勢:

1.高真空度:

分子泵能夠?qū)崿F(xiàn)和維持非常高的真空度,，通?？蛇_到 10-9 Torr 甚至更低

適用于超高真空應(yīng)用，如電子顯微鏡,、表面科學研究等,。

2.無油污染:

分子泵為干式泵，不使用油進行潤滑或密封,，因此避免了油污染,。

特別適用于需要超高潔凈度的真空環(huán)境。

3.高效:

由于其高轉(zhuǎn)速和多級結(jié)構(gòu),，分子泵能夠在較短時間內(nèi)達到目標真空度,，適合需要快速抽真空的應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造和實驗室設(shè)備,。

4.耐用性:

分子泵結(jié)構(gòu)堅固,，耐用性高，能夠長時間連續(xù)運行,。

維護成本較低,，因為沒有油的污染和相關(guān)的維護問題。

5.競壓力范圍:

分子泵能夠在寬范圍的壓力下工作,，從大氣壓一直到超高真空,。

能夠與其他類型的真空泵(如粗真空泵)聯(lián)用，實現(xiàn)更廣泛的應(yīng)用,。

應(yīng)用

分子泵被廣泛應(yīng)用于各種需要高真空和超高真空的領(lǐng)域,，包括但不限于

半導(dǎo)體制造:用于光刻、沉積和蝕刻等工藝中,。

真空鍍膜:用于制造光學薄膜和裝飾涂層,。

電子顯微鏡:提供必要的超高真空環(huán)境以確保高分辨率

加速器和粒子物理實驗:維持實驗室中的高真空條件,。

航空航天:用于模擬空間環(huán)境和測試衛(wèi)星部件。

總之,，分子泵以其高效,、無油污染和高真空度等優(yōu)勢，成為現(xiàn)代真空技術(shù)中的重要設(shè)備,。

鄭科探  高真空分子泵機組 技術(shù)參數(shù)：