鄭科探 分子泵真空機(jī)組：分子泵的原理

分子泵 (Molecular pump)是一種用于實(shí)現(xiàn)和維持高真空和超高真空環(huán)境的設(shè)備。它的工作原理基于氣體分子的動(dòng)量傳遞,，通過機(jī)械手段將氣體分子從真空系統(tǒng)中排出,。

工作原理

分子泵的工作過程可以概括為以下幾個(gè)步驟

1.旋轉(zhuǎn)葉片:

分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的葉片(或稱轉(zhuǎn)子)，通常以每分鐘數(shù)萬轉(zhuǎn)的速度旋轉(zhuǎn),。

葉片與定子之間形成非常小的間隙,。

2.氣體分子的動(dòng)量傳遞:

氣體分子在碰撞到高速旋轉(zhuǎn)的葉片時(shí)，會(huì)被賦予動(dòng)量,。

這種動(dòng)量使得氣體分子沿葉片的旋轉(zhuǎn)方向被加速,，逐步向泵的排氣口移動(dòng)。3.多級(jí)結(jié)構(gòu):

分子泵通常具有多級(jí)葉片結(jié)構(gòu),，通過多次碰撞和動(dòng)量傳遞,，使氣體分子逐級(jí)排出

每一級(jí)都進(jìn)一步降低系統(tǒng)的壓力，達(dá)到所需的真空度,。

分子泵的優(yōu)勢(shì)

分子泵在高真空和超高真空應(yīng)用中具有許多顯著的優(yōu)勢(shì):

1.高真空度:

分子泵能夠?qū)崿F(xiàn)和維持非常高的真空度,，通常可達(dá)到 10-9 Torr 甚至更低

適用于超高真空應(yīng)用,，如電子顯微鏡,、表面科學(xué)研究等。

2.無油污染:

分子泵為干式泵,，不使用油進(jìn)行潤(rùn)滑或密封,，因此避免了油污染。

特別適用于需要超高潔凈度的真空環(huán)境。

3.高效:

由于其高轉(zhuǎn)速和多級(jí)結(jié)構(gòu),，分子泵能夠在較短時(shí)間內(nèi)達(dá)到目標(biāo)真空度,，適合需要快速抽真空的應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,。

4.耐用性:

分子泵結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,，耐用性高，能夠長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行,。

維護(hù)成本較低,，因?yàn)闆]有油的污染和相關(guān)的維護(hù)問題。

5.競(jìng)壓力范圍:

分子泵能夠在寬范圍的壓力下工作,，從大氣壓一直到超高真空,。

能夠與其他類型的真空泵(如粗真空泵)聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)更廣泛的應(yīng)用,。

應(yīng)用

分子泵被廣泛應(yīng)用于各種需要高真空和超高真空的領(lǐng)域，包括但不限于

半導(dǎo)體制造:用于光刻,、沉積和蝕刻等工藝中,。

真空鍍膜:用于制造光學(xué)薄膜和裝飾涂層。

電子顯微鏡:提供必要的超高真空環(huán)境以確保高分辨率

加速器和粒子物理實(shí)驗(yàn):維持實(shí)驗(yàn)室中的高真空條件,。

航空航天:用于模擬空間環(huán)境和測(cè)試衛(wèi)星部件,。

總之，分子泵以其高效,、無油污染和高真空度等優(yōu)勢(shì),，成為現(xiàn)代真空技術(shù)中的重要設(shè)備,。

鄭科探 分子泵真空機(jī)組技術(shù)參數(shù)：