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日本Certas Wing 化學(xué)氣體干法刻蝕機 產(chǎn)品關(guān)鍵詞:化學(xué)刻蝕機;干法刻蝕機多少錢一臺;刻蝕機氣體;日本的刻蝕機

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 本公司主要從事半導(dǎo)體進口設(shè)備及輔助材料,、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā),、制造,、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品,;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易,、貨物及技術(shù)進出口,;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等,。

本公司主要從事半導(dǎo)體進口設(shè)備及輔助材料,、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā),、制造,、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品,;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易,、貨物及技術(shù)進出口,;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等

Certas WING 化學(xué)氣體干法刻蝕機



“Certas WING”設(shè)計用于加工300mm晶圓,,是Certas的代系統(tǒng),。這是一種 ,高產(chǎn)量的氣體化學(xué)蝕刻系統(tǒng),,可以在不使用清洗液的情況下進行表面蝕刻和清洗,。與濕式清潔相比,已經(jīng)干燥的處理單元不使用化學(xué)品,,不需要昂貴的廢物處理設(shè)備,,并且具有改進的可維護性。它了水印,,并提供了各種氧化膜蝕刻的選擇比例,,細微的界面清潔控制,與TEL清潔系統(tǒng)一起使用時具有更高的靈活性,。它支持從批量生產(chǎn)到下一代開發(fā)的廣泛應(yīng)用,。

特征
的氧化膜選擇性蝕刻和氣體化學(xué)品預(yù)處理

新的腔室設(shè)計實現(xiàn)了高吞吐量(大約兩倍)和小占用空間

無等離子處理可實現(xiàn)耗材的高正常運行時間和低成本

應(yīng)用
氧化硅膜的蝕刻和回蝕

硅觸點預(yù)清洗



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