二手蔡司場發(fā)射電鏡,，蔡司SUPRA 40VP原理介紹

        掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大,、圖像更富立體感,、放大倍數(shù)可調范圍寬等優(yōu)點而被廣泛應用于半導體、無機非金屬材料及器件等的檢測,。隨著我國經(jīng)濟的迅速發(fā)展,，高校、科研單位,、企業(yè)等大量引進了場發(fā)射掃描電子顯微鏡,。但是在掃描電子顯微鏡的使用過程中，特別是在安裝初期,，使用者通常由于對電鏡的運行狀態(tài)缺乏系統(tǒng)認識,，經(jīng)常會遇到軟件死機、樣品臺被卡,、真空問題等多種故障,。解決方式一般為請維修工程師上門維修，除花費時間和費用外,，也造成了對電鏡操作者的心里束縛,。筆者以德國蔡司ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡為例,，從環(huán)境條件、光學系統(tǒng),、真空系統(tǒng)及附件設施4個方面總結了熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡運行狀態(tài)的幾種檢查方法和維護保養(yǎng)經(jīng)驗,，并結合故障實例進行了分析

查看環(huán)境條件

       掃描電子顯微鏡的使用環(huán)境條件主要涉及溫度、濕度,、震動,、磁場強度、接地等幾個因素,。一般情況下,，環(huán)境溫度需控制在22～25℃，相對濕度以小于70%為宜,，保證實驗室清潔整齊,，避免大聲喧嘩及震動、磁場的干擾,。溫濕度控制需配備空調和除濕機,，特別是在南方地區(qū)一定要保證對濕度的控制，避免溫濕度對電鏡電子部件的影響,。由于場發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率較高,，對震動和磁場強度的要求也較高，所以需盡量避免震動和雜散磁場的干擾,。一般在安裝時,，建議將電鏡放置在樓體一層，遠離輸電線路,、大功率設備等,，并做防震地基和獨立地線設置。電鏡地線要求必須是獨立地線,，即接地體到接線端子均獨立,，避免地線連接到公共接地體。在使用過程中,，若周圍有雜散磁場,，在大倍數(shù)觀察時圖像會出現(xiàn)縱或橫條紋干擾?？傊?，日常使用過程中要嚴格控制電鏡的環(huán)境條件。以ULTRAPLUS掃描電子顯微鏡為例,，環(huán)境條件要求如下：溫度保持在21～25℃,，相對濕度小于65%，磁場強度小于3×10－7T，噪聲強度小于65dB,，獨立地線的接地電阻小于0.1Ω,。

檢查光學系統(tǒng)

（2）檢查像散情況,。像散是電子光學系統(tǒng)中所形成的磁場或靜電場不能滿足軸對稱要求時產(chǎn)生的,。圖像聚焦和消像散是圖片質量的重要保證。若反復聚焦后圖像仍不清晰,，在欠焦和過焦時垂直方向上出現(xiàn)模糊并拉長的現(xiàn)象,，則說明有像散存在，需要調節(jié)像散,。正常情況下也會出現(xiàn)像散,，可通過觀察狀態(tài)欄中的像散值查看是否處于正常狀態(tài)。若X或Y 軸的像散值小于30%,，則說明像散處于正常狀態(tài),；若像散值大于30%，則說明像散處于非正常狀態(tài),。產(chǎn)生像散的原因是多方面的,，如透鏡材料不均勻,、極靴孔之間對中不好以及加工精度影響等，而電鏡在使用過程中電子通道周圍部分被污染而帶電是產(chǎn)生像散的主要原因,。以ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡為例,，其電子通道的污染會形成一個局部的靜電場，干擾電子束的正常聚焦,。雖然電鏡中設置八極電磁式消像散器,，可產(chǎn)生一個弱的校正磁場，但其作用是有限的,。若電子通道污染,，則需清洗光闌和其他電子束通道部位來消除像散。

檢查真空系統(tǒng)

二手蔡司場發(fā)射電鏡,，蔡司SUPRA 40VP應用范圍

      場發(fā)射掃描電子顯微鏡，廣泛用于生物學,、醫(yī)學,、金屬材料、高分子材料,、化工原料、地質礦物,、商品檢驗,、產(chǎn)品生產(chǎn)質量控制、寶石鑒定,、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析,。可以觀察和檢測非均相有機材料,、無機材料及在上述微米,、納米級樣品的表面特征。該儀器的最大特點是具備超高分辨掃描圖像觀察能力,，尤其是采用新數(shù)字化圖像處理技術,，提供高倍數(shù)、高分辨掃描圖像,，并能即時打印或存盤輸出,，是納米材料粒徑測試和形貌觀察儀器。也是研究材料結構與性能關系所重要工具,。