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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>電子顯微鏡>掃描電鏡(SEM)> 二手蔡司場(chǎng)發(fā)射電鏡,蔡司SUPRA 40VP

二手蔡司場(chǎng)發(fā)射電鏡,蔡司SUPRA 40VP

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  我們一直在致力于分析儀器的推廣。目前公司的客戶涉及工業(yè)電子制造,、微電子,、新能源、環(huán)境監(jiān)測(cè),、科研院校,、制藥、檢驗(yàn)檢疫,、質(zhì)檢等行業(yè)和領(lǐng)域,。通過(guò)與Shimadzu、JEOL,、Fischer等廠商的合作,,為客戶提供產(chǎn)品增值銷售。主營(yíng)業(yè)務(wù)有RoHS租賃,,RoHS檢測(cè)儀器出租等,。

  公司同時(shí)開展儀器租賃、以舊換新以及售后維護(hù)等項(xiàng)目,,不斷完善產(chǎn)品結(jié)構(gòu),,秉承“追求,關(guān)注細(xì)節(jié)”的精神,,心怡創(chuàng)將進(jìn)一步提高服務(wù)質(zhì)量,,更好地為客戶創(chuàng)造價(jià)值。

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  秉承"科技無(wú)限,、服務(wù)創(chuàng)新"的宗旨,,"心怡創(chuàng)"將繼續(xù)通過(guò)不懈的努力,為客戶提供"更豐富的產(chǎn)品選擇,、更經(jīng)濟(jì)的解決方案,、更全面的專業(yè)服務(wù)",成為中國(guó)儀器領(lǐng)域的*,。





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背散射電子圖像分辨率 4.0nm@30KV 產(chǎn)地類別 進(jìn)口
二次電子圖象分辨率 3.0nm @ 30KV WD 8mmnm 放大倍數(shù) ×5~×300,000x
加速電壓 0.5KV ~ 30KVkV 價(jià)格區(qū)間 50萬(wàn)-100萬(wàn)
儀器種類 熱場(chǎng)發(fā)射 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,地礦,能源,電子/電池,道路/軌道/船舶

二手蔡司場(chǎng)發(fā)射電鏡,,蔡司SUPRA 40VP原理介紹

        掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大,、圖像更富立體感,、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、無(wú)機(jī)非金屬材料及器件等的檢測(cè),。隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的迅速發(fā)展,,高校、科研單位,、企業(yè)等大量引進(jìn)了場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,。但是在掃描電子顯微鏡的使用過(guò)程中,特別是在安裝初期,,使用者通常由于對(duì)電鏡的運(yùn)行狀態(tài)缺乏系統(tǒng)認(rèn)識(shí),,經(jīng)常會(huì)遇到軟件死機(jī)、樣品臺(tái)被卡,、真空問(wèn)題等多種故障。解決方式一般為請(qǐng)維修工程師上門維修,,除花費(fèi)時(shí)間和費(fèi)用外,,也造成了對(duì)電鏡操作者的心里束縛。筆者以德國(guó)蔡司ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡為例,,從環(huán)境條件,、光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及附件設(shè)施4個(gè)方面總結(jié)了熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡運(yùn)行狀態(tài)的幾種檢查方法和維護(hù)保養(yǎng)經(jīng)驗(yàn),,并結(jié)合故障實(shí)例進(jìn)行了分析

    

查看環(huán)境條件

       掃描電子顯微鏡的使用環(huán)境條件主要涉及溫度,、濕度、震動(dòng),、磁場(chǎng)強(qiáng)度,、接地等幾個(gè)因素。一般情況下,環(huán)境溫度需控制在22~25℃,,相對(duì)濕度以小于70%為宜,,保證實(shí)驗(yàn)室清潔整齊,避免大聲喧嘩及震動(dòng),、磁場(chǎng)的干擾,。溫濕度控制需配備空調(diào)和除濕機(jī),特別是在南方地區(qū)一定要保證對(duì)濕度的控制,,避免溫濕度對(duì)電鏡電子部件的影響,。由于場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率較高,對(duì)震動(dòng)和磁場(chǎng)強(qiáng)度的要求也較高,,所以需盡量避免震動(dòng)和雜散磁場(chǎng)的干擾,。一般在安裝時(shí),建議將電鏡放置在樓體一層,,遠(yuǎn)離輸電線路,、大功率設(shè)備等,并做防震地基和獨(dú)立地線設(shè)置,。電鏡地線要求必須是獨(dú)立地線,,即接地體到接線端子均獨(dú)立,避免地線連接到公共接地體,。在使用過(guò)程中,,若周圍有雜散磁場(chǎng),在大倍數(shù)觀察時(shí)圖像會(huì)出現(xiàn)縱或橫條紋干擾,??傊粘J褂眠^(guò)程中要嚴(yán)格控制電鏡的環(huán)境條件,。以ULTRAPLUS掃描電子顯微鏡為例,,環(huán)境條件要求如下:溫度保持在21~25℃,相對(duì)濕度小于65%,,磁場(chǎng)強(qiáng)度小于3×10-7T,,噪聲強(qiáng)度小于65dB,獨(dú)立地線的接地電阻小于0.1Ω,。

二手蔡司場(chǎng)發(fā)射電鏡,,蔡司SUPRA 40VP

檢查光學(xué)系統(tǒng)

       電子光學(xué)系統(tǒng)是由電子槍、電磁透鏡,、掃描線圈組成的,,也是掃描電子顯微鏡的核心部分。為保證電子束沿這些部件的軸線穿行,,必須調(diào)節(jié)這些部件合軸,,即光闌對(duì)中,。而電鏡初學(xué)者往往一味地進(jìn)行調(diào)焦、變倍操作,,可是得到的圖像仍不清楚,,于是懷疑電鏡出現(xiàn)故障。下面將就從光闌對(duì)中,、物鏡消像散,、查看電子束束流和燈絲壽命情況這幾個(gè)方面進(jìn)行闡述,以便進(jìn)一步了解電鏡的性能,,做好電鏡的日常維護(hù)保養(yǎng)工作,。
(1)檢查光闌對(duì)中。在更換試樣,、調(diào)整加速電壓和探測(cè)器類型時(shí)需檢查光闌是否對(duì)中,。具體操作方法是打開調(diào)焦搖擺功能,查看高倍數(shù)下電子圖像是否上下左右擺動(dòng),,若擺動(dòng)則調(diào)節(jié)光闌對(duì)中按鈕,,直至圖像僅出現(xiàn)上下擺動(dòng)。

(2)檢查像散情況,。像散是電子光學(xué)系統(tǒng)中所形成的磁場(chǎng)或靜電場(chǎng)不能滿足軸對(duì)稱要求時(shí)產(chǎn)生的,。圖像聚焦和消像散是圖片質(zhì)量的重要保證。若反復(fù)聚焦后圖像仍不清晰,,在欠焦和過(guò)焦時(shí)垂直方向上出現(xiàn)模糊并拉長(zhǎng)的現(xiàn)象,,則說(shuō)明有像散存在,需要調(diào)節(jié)像散,。正常情況下也會(huì)出現(xiàn)像散,,可通過(guò)觀察狀態(tài)欄中的像散值查看是否處于正常狀態(tài)。若X或Y 軸的像散值小于30%,,則說(shuō)明像散處于正常狀態(tài),;若像散值大于30%,則說(shuō)明像散處于非正常狀態(tài),。產(chǎn)生像散的原因是多方面的,,如透鏡材料不均勻、極靴孔之間對(duì)中不好以及加工精度影響等,,而電鏡在使用過(guò)程中電子通道周圍部分被污染而帶電是產(chǎn)生像散的主要原因,。以ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡為例,,其電子通道的污染會(huì)形成一個(gè)局部的靜電場(chǎng),,干擾電子束的正常聚焦。雖然電鏡中設(shè)置八極電磁式消像散器,,可產(chǎn)生一個(gè)弱的校正磁場(chǎng),,但其作用是有限的,。若電子通道污染,則需清洗光闌和其他電子束通道部位來(lái)消除像散,。

二手蔡司場(chǎng)發(fā)射電鏡,,蔡司SUPRA 40VP

檢查真空系統(tǒng)

      電鏡中的真空系統(tǒng)一般由真空泵、管道,、和真空測(cè)量裝置組成,。高真空度可減少電子與氣體分子的碰撞,增加燈絲壽命,,所以必須高度關(guān)注真空系統(tǒng),,定期記錄系統(tǒng)真空和槍真空數(shù)值,或是打開真空監(jiān)控器(Gun Monitor)實(shí)時(shí)監(jiān)控真空值,。對(duì)于ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡,,需保證系統(tǒng)真空值不小于5.0×10-4Pa,槍真空不低于1.0×10-7Pa,。若真空值低于正常狀態(tài)需進(jìn)行必要的檢查和維護(hù)保養(yǎng),,如檢查各真空系統(tǒng)部件或進(jìn)行烘烤操作,具體方法如下:
(1)觀察真空裝置的啟動(dòng)順序及啟動(dòng)時(shí)間,。ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡真空的啟動(dòng)順序?yàn)闄C(jī)械泵潘寧規(guī),、離子泵。一般換試樣抽真空時(shí)間為3min,。如時(shí)間過(guò)長(zhǎng),,需檢查真空裝置是否為異常啟動(dòng)情況。
(2)判斷分子泵前級(jí)泵的工作狀態(tài),。定期查看分子泵的功率狀態(tài),,操作方法為:打開分子泵控制器,查看分子泵功率,,若小于10W,,則分子泵前級(jí)泵(機(jī)械干泵)無(wú)過(guò)多附加阻力,為正常狀態(tài),;否則,,說(shuō)明前級(jí)泵存在過(guò)多負(fù)載。
(3)機(jī)械干泵的維護(hù),。機(jī)械干泵中密封圈為易耗品,,隨著機(jī)械摩擦?xí)r間的增加,密封圈變小,,給分子泵帶來(lái)過(guò)多負(fù)載,,抽真空時(shí)間變長(zhǎng)。一般情況下,,機(jī)械干泵的維護(hù)需在1~2a(年)內(nèi)進(jìn)行,,即更換密封圈,。

二手蔡司場(chǎng)發(fā)射電鏡,蔡司SUPRA 40VP應(yīng)用范圍

      場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,,廣泛用于生物學(xué),、醫(yī)學(xué)、金屬材料,、高分子材料,、化工原料、地質(zhì)礦物,、商品檢驗(yàn),、產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量控制、寶石鑒定,、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析,。可以觀察和檢測(cè)非均相有機(jī)材料,、無(wú)機(jī)材料及在上述微米,、納米級(jí)樣品的表面特征。該儀器的最大特點(diǎn)是具備超高分辨掃描圖像觀察能力,,尤其是采用新數(shù)字化圖像處理技術(shù),,提供高倍數(shù)、高分辨掃描圖像,,并能即時(shí)打印或存盤輸出,,是納米材料粒徑測(cè)試和形貌觀察儀器。也是研究材料結(jié)構(gòu)與性能關(guān)系所重要工具,。

二手蔡司場(chǎng)發(fā)射電鏡,,蔡司SUPRA 40VP




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