高真空互聯(lián)物理氣相薄膜沉積系統(tǒng)
- 公司名稱 研啟科學儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/22 17:00:23
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純水機,,離心機,,旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,,質(zhì)譜儀,,頻譜儀,示波器,,掃描電子顯微鏡,,電化學工作站,,流式細胞儀,,手套箱,,磁控濺射
概述:沉積系統(tǒng)可用于制備光學薄膜、電學薄膜,、磁性薄膜,、硬質(zhì)保護薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩(wěn)定,、模塊化結(jié)構(gòu),,采用行業(yè)軟件控制系統(tǒng);4英寸鍍膜區(qū)域內(nèi)片內(nèi)膜厚不均勻性:≤±2.5%,,8英寸鍍膜區(qū)域內(nèi)片內(nèi)膜厚不均勻性:≤±3.5%,測定標準以Ti靶材,,濺射200——500nm厚薄膜,,邊緣去5mm,隨機5點取樣測定為準,。
樣品托面中心到地面的高度約1360mm,;
鍍膜材料適用于:Au、Ag,、Pt,、W、Mo,、Ta,、Ti、Al,、Si,、Cu、Fe,、Ni,、氧化鋁,氧化鈦,,氧化鋯,,ITO,,AZO,氮化鉭,,氮化鈦等,;
PVD平臺概述:既專注單一功能、又可通過拓展實現(xiàn)多平臺聯(lián)動:
1,、關(guān)鍵部件接口都為標準接口,,可以通過更換功能單元實現(xiàn)電子束、電阻蒸發(fā),、有機蒸發(fā),、多靶或單靶磁控濺射、離子束,、多弧,、樣品離子清洗等功能;
2,、系統(tǒng)平臺為準無油系統(tǒng),,提供更優(yōu)質(zhì)的超潔凈實驗環(huán)境,保障實驗結(jié)果的可靠性和重復性,;
3,、系統(tǒng)可以選擇單靶單樣品、多靶單樣品等多層沉積方式,;
4,、靶基距具有腔外手動調(diào)節(jié)功能;
5,、系統(tǒng)設(shè)置一鍵式操作,,可以實現(xiàn)自動手動切換、遠程控制,、遠程協(xié)助等功能,;
6、控制軟件分級權(quán)限管理,,采用配方式自動工藝流程,,提供開放式工藝編輯、存儲與調(diào)取執(zhí)行,、歷史數(shù)據(jù)分析等功能,,可以不斷更新和升級;
7,、可以提供網(wǎng)絡(luò)和手機端查詢控制功能(現(xiàn)場要具備局域網(wǎng)絡(luò)),,實現(xiàn)隨時查詢數(shù)據(jù)記錄、分析統(tǒng)計等功能;
8,、節(jié)能環(huán)保,,設(shè)備能耗優(yōu)化后運行功率相比之前節(jié)能10%;,;
9,、可用于標準鍍膜產(chǎn)品小批量生產(chǎn)。
互聯(lián)系統(tǒng)技術(shù)描述
真空互聯(lián)系統(tǒng)由物理氣相沉積磁控濺射系統(tǒng)A,、物理氣相沉積磁控濺射系統(tǒng)B,、物理氣相沉積、電子束及熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)A,、物理氣相沉積電子束及熱阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)B,、進樣室、出樣室,、傳輸管,、機械手等組成,可以實現(xiàn)樣品在真空環(huán)境下不同工藝方法的樣品薄膜制備和傳遞,。