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電感耦合等離子體刻蝕ICP

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公司主要銷售實(shí)驗(yàn)室儀器儀表,、實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備,、散熱材料、增材制造設(shè)備,、電氣設(shè)備,、電子產(chǎn)品、通訊器材,、機(jī)械配件,、通訊器材、電腦軟硬件,、機(jī)械配件,、非標(biāo)自動化設(shè)備、五金工具,、實(shí)驗(yàn)耗材和試劑(不含危險(xiǎn)化學(xué)品),、激光儀器及輔助設(shè)備;

電氣設(shè)備,、信息系統(tǒng)設(shè)計(jì),、集成;工程管理服務(wù),;單晶硅,、碳化硅、立方氮化硼,、石墨烯,、石墨炔、碳納米管技術(shù)開發(fā),、技術(shù)轉(zhuǎn)讓和檢驗(yàn)檢測服務(wù),;

計(jì)算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備、信息系統(tǒng)軟件,、非標(biāo)自動化設(shè)備的租賃和維修,;

銷售醫(yī)療器械,、文化辦公用品,、五金交電、機(jī)械設(shè)備、監(jiān)控設(shè)備,、建筑材料,、裝飾材料、辦公室用品,;第二類醫(yī)療器械經(jīng)營,、第三類醫(yī)療器械經(jīng)營;依托進(jìn)口核心產(chǎn)品做研發(fā):

團(tuán)隊(duì)是由深圳大學(xué)從事材料,,光學(xué),,生物團(tuán)隊(duì)組成,目前核心創(chuàng)始人3位,,分別負(fù)責(zé)材料,,生物和光電領(lǐng)域,分別提供相應(yīng)配套設(shè)施以及技術(shù)解決方案等,;業(yè)務(wù)目前主要覆蓋東莞,,深圳,惠州,,廣州等整個廣東地區(qū),,可快速抵達(dá)廣東所在區(qū)域提供技術(shù)支持和服務(wù)。

目前典型服務(wù)客戶有:清華大學(xué)深圳國際研究生院,,哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),,南方科技大學(xué),深圳大學(xué),,深圳技術(shù)大學(xué),,北京大學(xué)深圳研究生院,松山湖材料實(shí)驗(yàn)室,,大灣區(qū)大學(xué)(籌),,東莞理工學(xué)院,中山大學(xué),,暨南大學(xué),,華南理工大學(xué),廣東工業(yè)大學(xué)等

純水機(jī),,離心機(jī),,旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,,質(zhì)譜儀,,頻譜儀,示波器,,掃描電子顯微鏡,,電化學(xué)工作站,,,流式細(xì)胞儀,手套箱,,磁控濺射

v 兼容200mm以下所有尺寸的晶圓,,快速更換到不同尺寸的晶圓工藝

v 電極的適用溫度范圍寬,-150°C400°C

v ICP源尺寸為65mm,,180mm,,300mm

v 應(yīng)用方向:

? III-V族材料的刻蝕工藝

? 固體激光器InP刻蝕

? VCSEL GaAs/AlGaAs刻蝕

? 射頻器件低損傷GaN刻蝕

? Bosch和超低溫刻蝕工藝

? 類金剛石(DLC)沉積

? 二氧化硅和石英刻蝕

? 用特殊配置的PlasmaPro FA設(shè)備進(jìn)行失效分析的干法刻蝕解剖工藝,可處理封裝好的芯片,、 裸晶片以及200mm晶圓

? 沉積高質(zhì)量的PECVD氮化硅和二氧化硅薄膜,,用于光子學(xué)、電介質(zhì)層,、鈍化等諸多其它用途

? 用于高亮度LED生產(chǎn)的硬掩模沉積和刻蝕




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