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槽式濕法刻蝕清洗設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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公司主要銷售實(shí)驗(yàn)室儀器儀表,、實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備、散熱材料,、增材制造設(shè)備,、電氣設(shè)備、電子產(chǎn)品,、通訊器材,、機(jī)械配件、通訊器材,、電腦軟硬件、機(jī)械配件、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備,、五金工具,、實(shí)驗(yàn)耗材和試劑(不含危險(xiǎn)化學(xué)品)、激光儀器及輔助設(shè)備,;

電氣設(shè)備,、信息系統(tǒng)設(shè)計(jì)、集成,;工程管理服務(wù),;單晶硅、碳化硅,、立方氮化硼,、石墨烯、石墨炔,、碳納米管技術(shù)開發(fā),、技術(shù)轉(zhuǎn)讓和檢驗(yàn)檢測(cè)服務(wù);

計(jì)算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備,、信息系統(tǒng)軟件,、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備的租賃和維修;

銷售醫(yī)療器械,、文化辦公用品,、五金交電、機(jī)械設(shè)備,、監(jiān)控設(shè)備,、建筑材料、裝飾材料,、辦公室用品,;第二類醫(yī)療器械經(jīng)營(yíng)、第三類醫(yī)療器械經(jīng)營(yíng),;依托進(jìn)口核心產(chǎn)品做研發(fā):

團(tuán)隊(duì)是由深圳大學(xué)從事材料,,光學(xué),生物團(tuán)隊(duì)組成,,目前核心創(chuàng)始人3位,,分別負(fù)責(zé)材料,生物和光電領(lǐng)域,,分別提供相應(yīng)配套設(shè)施以及技術(shù)解決方案等,;業(yè)務(wù)目前主要覆蓋東莞,深圳,,惠州,,廣州等整個(gè)廣東地區(qū),,可快速抵達(dá)廣東所在區(qū)域提供技術(shù)支持和服務(wù)。

目前典型服務(wù)客戶有:清華大學(xué)深圳國(guó)際研究生院,,哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),,南方科技大學(xué),深圳大學(xué),,深圳技術(shù)大學(xué),,北京大學(xué)深圳研究生院,松山湖材料實(shí)驗(yàn)室,,大灣區(qū)大學(xué)(籌),,東莞理工學(xué)院,中山大學(xué),,暨南大學(xué),,華南理工大學(xué),廣東工業(yè)大學(xué)等

純水機(jī),,離心機(jī),,旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,,質(zhì)譜儀,,頻譜儀,示波器,,掃描電子顯微鏡,,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,,手套箱,,磁控濺射

v 應(yīng)用領(lǐng)域:RCA清洗,濕法去膠,,介質(zhì)層濕法刻蝕,,金屬層濕法刻蝕,爐管前清洗等

v 晶圓尺寸:100mm~300mm

v 設(shè)備配置:

? 支持化學(xué)液C.C.S.S.,、L.C.S.S

? Marangoni dry spin dry

? 自動(dòng)換酸,,自動(dòng)補(bǔ)液、配液

? 加熱控制,,濃度控制,,流量控制,壓力控制等

? 槽體過溫保護(hù),,各單元配置漏液傳感器

? 支持化學(xué)液回收

? 全面支持SECS/GEM通訊協(xié)議

v 工藝指標(biāo):蝕刻非均勻性片內(nèi):4%,;片間:≤4%;批次間: ≤4%,;

v 顆??刂疲涸黾又?/span><30@0.09μm(帶氧化硅膜測(cè)試,,來料顆粒<50顆)

v 金屬離子:<5E9 atoms/cm2




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