槽式濕法刻蝕清洗設(shè)備
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 16:54:04
- 訪問次數(shù) 135
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純水機(jī),,離心機(jī),,旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,,質(zhì)譜儀,,頻譜儀,示波器,,掃描電子顯微鏡,,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,,手套箱,,磁控濺射
v 應(yīng)用領(lǐng)域:RCA清洗,濕法去膠,,介質(zhì)層濕法刻蝕,,金屬層濕法刻蝕,爐管前清洗等
v 晶圓尺寸:100mm~300mm
v 設(shè)備配置:
? 支持化學(xué)液C.C.S.S.,、L.C.S.S
? Marangoni dry 或 spin dry
? 自動(dòng)換酸,,自動(dòng)補(bǔ)液、配液
? 加熱控制,,濃度控制,,流量控制,壓力控制等
? 槽體過溫保護(hù),,各單元配置漏液傳感器
? 支持化學(xué)液回收
? 全面支持SECS/GEM通訊協(xié)議
v 工藝指標(biāo):蝕刻非均勻性片內(nèi):≤4%,;片間:≤4%;批次間: ≤4%,;
v 顆??刂疲涸黾又?/span><30顆@0.09μm(帶氧化硅膜測(cè)試,,來料顆粒<50顆)
v 金屬離子:<5E9 atoms/cm2