一、產(chǎn)品介紹

CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速,，旋涂均勻，操作簡單,，結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子,、半導(dǎo)體,、新能源、化工材料,、生物材料,、光學(xué)，硅片,、載玻片,，晶片，基片,，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等,。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

u 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī),，數(shù)字式增速信號反饋,，速勻準(zhǔn)確，壽命長,，保證勻膠均勻,。

u 5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示,，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設(shè)置）,，可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段,，最多100個(gè)階段,。

u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，限度的保證旋涂均勻,，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂,。

u 多重安全保護(hù)

電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止,，保證安全,；

蓋子自鎖功能，防止飛片蓋開傷人,；

雙重安全上蓋,，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全,。

u 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護(hù),，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險(xiǎn),。

u 一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式,。

u 符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計(jì),，取放樣品更方便。

u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,，旋涂腔體采用PTFE材料,。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕,，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行,。

u 上下雙腔體設(shè)計(jì)，較大的上腔體便于擦拭去除膠液,，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液,，并帶廢膠收集裝置

u 可選氮?dú)獯蹈伞⒌獨(dú)獗Ｗo(hù),，自動滴膠或簡易滴膠裝置,，提供更多的操作便利性。

u 適用硅片,、玻璃,、石英、金屬,、GaAs,，GaN，InP 等多種材料,。

三,、技術(shù)參數(shù)