離子注入機(jī)
- 公司名稱(chēng) 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 15:29:54
- 訪問(wèn)次數(shù) 229
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純水機(jī),,離心機(jī),,旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,,質(zhì)譜儀,,頻譜儀,示波器,,掃描電子顯微鏡,,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,,手套箱,,磁控濺射
v 單價(jià)離子加速能量≥200keV,并增加減速系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)單價(jià)離子在5keV~200keV的能量范圍
v 可用于2,、3,、4,、6,、8英寸晶圓以及不規(guī)則碎片
v 可注入B、P,、As,、Al、S,、H,、Mg、Si離子
v 注入劑量精準(zhǔn)度≤1.5%
v 離子注入劑量范圍:1×1011 at/cm2~1×1016 at/cm2
v 離子源部分:離子源,、離子源氣體系統(tǒng)和離子源引出系統(tǒng)
v 離子源系統(tǒng)搭載5套從固體蒸發(fā)源產(chǎn)生離子的Vaporizer,,溫度達(dá)700℃,實(shí)現(xiàn)固態(tài)源的離子注入
v 離子注入傾斜角度在0°和7°
v 室溫臺(tái):0°和7°,;高溫臺(tái):0°
v 束流調(diào)整系統(tǒng)主要包括:質(zhì)量分析器,、束流匯聚系統(tǒng)、加速系統(tǒng),、掃描系統(tǒng),、束流檢測(cè)和高壓絕緣變壓器
v 真空系統(tǒng)主要包括:Ion Source真空系統(tǒng)、Beam Line真空系統(tǒng),、End Station真空系統(tǒng),、真空系統(tǒng)中的真空管件和閥門(mén)以及真空檢測(cè)單元
v 真空度:
Ion Source真空度:≤7×10-4Pa
Beam Line真空度:≤7×10-5Pa
End Station真空度:≤7×10-5Pa