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離子注入機(jī)

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公司主要銷(xiāo)售實(shí)驗(yàn)室儀器儀表、實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備,、散熱材料,、增材制造設(shè)備、電氣設(shè)備,、電子產(chǎn)品,、通訊器材、機(jī)械配件,、通訊器材,、電腦軟硬件、機(jī)械配件,、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備,、五金工具、實(shí)驗(yàn)耗材和試劑(不含危險(xiǎn)化學(xué)品),、激光儀器及輔助設(shè)備,;

電氣設(shè)備、信息系統(tǒng)設(shè)計(jì),、集成,;工程管理服務(wù);單晶硅,、碳化硅,、立方氮化硼、石墨烯,、石墨炔,、碳納米管技術(shù)開(kāi)發(fā),、技術(shù)轉(zhuǎn)讓和檢驗(yàn)檢測(cè)服務(wù);

計(jì)算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備,、信息系統(tǒng)軟件,、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備的租賃和維修;

銷(xiāo)售醫(yī)療器械,、文化辦公用品,、五金交電、機(jī)械設(shè)備,、監(jiān)控設(shè)備,、建筑材料、裝飾材料,、辦公室用品,;第二類(lèi)醫(yī)療器械經(jīng)營(yíng)、第三類(lèi)醫(yī)療器械經(jīng)營(yíng),;依托進(jìn)口核心產(chǎn)品做研發(fā):

團(tuán)隊(duì)是由深圳大學(xué)從事材料,,光學(xué),生物團(tuán)隊(duì)組成,,目前核心創(chuàng)始人3位,,分別負(fù)責(zé)材料,生物和光電領(lǐng)域,,分別提供相應(yīng)配套設(shè)施以及技術(shù)解決方案等,;業(yè)務(wù)目前主要覆蓋東莞,深圳,,惠州,,廣州等整個(gè)廣東地區(qū),可快速抵達(dá)廣東所在區(qū)域提供技術(shù)支持和服務(wù),。

目前典型服務(wù)客戶(hù)有:清華大學(xué)深圳國(guó)際研究生院,,哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳),南方科技大學(xué),,深圳大學(xué),,深圳技術(shù)大學(xué),北京大學(xué)深圳研究生院,,松山湖材料實(shí)驗(yàn)室,,大灣區(qū)大學(xué)(籌),東莞理工學(xué)院,,中山大學(xué),,暨南大學(xué),華南理工大學(xué),廣東工業(yè)大學(xué)等

純水機(jī),,離心機(jī),,旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,,質(zhì)譜儀,,頻譜儀,示波器,,掃描電子顯微鏡,,電化學(xué)工作站,,流式細(xì)胞儀,,手套箱,,磁控濺射

v 單價(jià)離子加速能量200keV,并增加減速系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)單價(jià)離子在5keV~200keV的能量范圍

v 可用于2,、3,、4,、6,、8英寸晶圓以及不規(guī)則碎片

v 可注入BP,、As,、AlS,、H,、MgSi離子

v 注入劑量精準(zhǔn)度1.5%

v 離子注入劑量范圍:1×1011 at/cm21×1016 at/cm2

v 離子源部分:離子源,、離子源氣體系統(tǒng)和離子源引出系統(tǒng)

v 離子源系統(tǒng)搭載5套從固體蒸發(fā)源產(chǎn)生離子的Vaporizer,,溫度達(dá)700℃,實(shí)現(xiàn)固態(tài)源的離子注入

v 離子注入傾斜角度在

v 室溫臺(tái):,;高溫臺(tái):

v 束流調(diào)整系統(tǒng)主要包括:質(zhì)量分析器,、束流匯聚系統(tǒng)、加速系統(tǒng),、掃描系統(tǒng),、束流檢測(cè)和高壓絕緣變壓器

v 真空系統(tǒng)主要包括:Ion Source真空系統(tǒng)、Beam Line真空系統(tǒng),、End Station真空系統(tǒng),、真空系統(tǒng)中的真空管件和閥門(mén)以及真空檢測(cè)單元

v 真空度:

Ion Source真空度:≤7×10-4Pa

Beam Line真空度:≤7×10-5Pa

End Station真空度:≤7×10-5Pa

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