FPANG-IRSE 紅外光譜橢偏儀
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPANG-IRSE
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/8/29 15:16:18
- 訪問次數(shù) 205
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
紅外光譜橢偏儀IRSE是專業(yè)為半導(dǎo)體材料薄膜測量設(shè)計(jì)的紅外橢偏儀,紅外光譜橢圓偏振儀(IRSE),表征材料特性,,包括結(jié)構(gòu)參數(shù),,如層厚度、界面特性,、表面粗糙度和污染物的存在,。
紅外光譜橢偏儀紅外光譜橢圓偏振儀測量紅外范圍內(nèi)光的偏振態(tài)變化,IRSE可以提取關(guān)鍵的光學(xué)信息,如所研究材料的折射率,、消光系數(shù)和光學(xué)常數(shù),。
此外,紅外光譜橢圓偏振儀(IRSE)還可以提供對材料電性能的見解,。通過分析在紅外范圍內(nèi)獲得的橢圓偏振數(shù)據(jù),,可以提取有關(guān)材料電導(dǎo)率或電阻率的信息,這對于研究導(dǎo)電薄膜,、摻雜半導(dǎo)體或金屬層特別有用,。
紅外光譜橢偏儀有可能收集有關(guān)被分析材料的化學(xué)信息。通過檢查紅外光譜中的吸收帶,,可以識別樣品中存在的特征振動(dòng)模式和化學(xué)鍵,,有助于材料識別、成分分析和化學(xué)表征,。
紅外光譜橢偏儀將光譜橢圓偏振計(jì)的功能擴(kuò)展到紅外波長范圍,,從而可以對材料進(jìn)行全面表征。它能夠確定結(jié)構(gòu)參數(shù),、光學(xué)性質(zhì),、電導(dǎo)率,甚至化學(xué)信息,。通過利用材料在紅外范圍內(nèi)的du特行為,,紅外光譜橢圓偏振儀(IRSE)為廣泛的應(yīng)用提供了有價(jià)值的見解,包括材料科學(xué),、薄膜研究,、半導(dǎo)體開發(fā)和化學(xué)分析。
紅外光譜橢圓偏振儀(IRSE)的測量原理涉及以各種入射角將紅外光引導(dǎo)到樣品表面并分析反射光,。測量了橢圓偏振參數(shù),,如反射光的p偏振和s偏振分量之間的振幅比(Ψ)和相位差(Δ)。
然后將紅外光譜橢圓偏振儀(IRSE)獲得的數(shù)據(jù)與包含樣品光學(xué)特性和層厚度的模型進(jìn)行比較,。通過擬合過程,,調(diào)整模型參數(shù),直到計(jì)算出的橢圓參數(shù)與實(shí)驗(yàn)值相匹配,。這允許確定樣品的光學(xué)常數(shù)和層特性,。
材料在紅外波度較為特殊,比如非摻雜半導(dǎo)體在紅外區(qū)域通常是透明的,可以在吸收效應(yīng)干擾***小的情況下分析其光學(xué)特性,。另一方面,,電介質(zhì)在紅外范圍內(nèi)具有特征吸收帶,這可以提供有關(guān)其組成和分子結(jié)構(gòu)的有價(jià)值的信息,。金屬和摻雜半導(dǎo)體表現(xiàn)出所謂的德魯?shù)挛瘴?,這是由這些材料中的自由電子響應(yīng)引起的,。
紅外光譜橢偏儀產(chǎn)品特色
易于使用基于Windows的軟件;面向高級用戶的科學(xué)模式和面向日常操作的操作員模式
可變?nèi)肷浣牵╒ASE,,可變?nèi)肷浣枪庾V橢圓偏振儀)
用戶可定義分辨率
基于FTIR技術(shù)的快速測量
綜合光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和模型配方
**的TFProbe軟件允許用戶使用NK表,、分散體或EMA混合物/復(fù)合材料定義層,并具有指數(shù)分級和表面/界面粗糙度,。,。。
可升級和可重新配置,,有各種選項(xiàng)和配件
具有連續(xù)動(dòng)態(tài)對準(zhǔn)的邁克爾遜干涉儀,,具有長期穩(wěn)定性
長壽命紅外光源
紅外光譜橢偏儀典型應(yīng)用
薄膜表征:確定半導(dǎo)體行業(yè),光學(xué)和表面涂層等各個(gè)領(lǐng)域薄膜的厚度、折射率和成分,。
化學(xué)分析:測量有機(jī)材料、聚合物和生物分子的分子結(jié)構(gòu)和組成的信息,。
表面和界面研究:理解表面和界面的性質(zhì),,包括它們的粗糙度、吸附和厚度,。
材料研發(fā):研究新材料及其光學(xué)性能,,從而*化材料合成和加工方法。
散裝材料:玻璃,、PET,、摻雜硅
硅外延層:
摻雜剖面
薄外延層(<1um)
低對比度N-/N外延層
半導(dǎo)體外延層(GaAs、Insb,、SiC,、SiGe、CdHgTe等)
介電薄膜特性
FPD應(yīng)用的硅層
a-Si:H工藝質(zhì)量監(jiān)測(CVD,、ELA工藝)
SiN層中Si-H和N:H的相對含量
ITO薄膜:光學(xué)和電學(xué)特性
BPSG,、PSG:硼和磷濃度
低k材料:
有機(jī)低k材料。
確定厚度和光學(xué)常數(shù)
計(jì)算碳含量(%C),。
測定退火前后的含水量
SiOC:H:碳含量和孔隙率,。
多孔SiO2:厚度、孔隙率,、含水量,。
溝槽、高架橋,、凹槽和淺溝槽隔離(STI)
SOI光波導(dǎo):厚度測量,。
紅外光譜橢偏儀性能參數(shù)
光譜范圍:350-7400 cm-1
光譜分辨率:0.5-32 cm-1
波長精度:*于0.01 cm-1
掃描速度:0.158–6.28厘米/秒
光斑尺寸:1-5mm
入射角:20°至90°,步進(jìn)5°
測量時(shí)間:5秒/站點(diǎn)到幾分鐘,,用戶可定義
測量精度:*于1?(熱SiO2/Si材料)