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VS系列 真空泵

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真空泵

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備,、后道封裝裝備,、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù),、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),,軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,,光刻機(jī),,納米壓印、磁控濺射,,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品類型 有油泵
價(jià)格區(qū)間 面議 儀器種類 真空泵
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子

1. VS系列是旋片式(單)的油旋轉(zhuǎn)真空泵,。

VS系列是真空泵中的一款旋片式(單)油旋轉(zhuǎn)真空泵,以其可靠的性能和高效的排氣能力而廣受歡迎,。這款泵的核心結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)精巧,,采用了先進(jìn)的旋片技術(shù),確保了在抽氣過程中提供穩(wěn)定和持續(xù)的真空環(huán)境,。為了滿足更高的排氣需求,,VS系列泵可以靈活地與羅茨泵進(jìn)行組合,這樣一來,,不僅可以顯著提升排氣量,,還能在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到所需的高真空狀態(tài)。這種高效的組合解決方案非常適合對快速抽氣和高真空要求的工業(yè)應(yīng)用,,如半導(dǎo)體制造,、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積等,。

在設(shè)計(jì)方面,,VS系列泵內(nèi)置了高效的油霧過濾器和回油裝置。油霧過濾器能夠有效去除排氣過程中的油霧,,防止油霧隨排氣排放到環(huán)境中,,這一措施不僅有助于保護(hù)操作環(huán)境的清潔,也避免了潛在的設(shè)備污染,。而回油裝置則通過對泵內(nèi)部油液的回收,確保了油的循環(huán)使用,,這不僅提升了泵的工作效率,,還延長了其使用壽命。這些設(shè)計(jì)顯著提高了泵的排氣性能,確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行,,降低了維護(hù)頻率與運(yùn)營成本,。

值得一提的是,VS系列泵在維護(hù)便利性方面同樣表現(xiàn)出色,。在設(shè)計(jì)過程中,,工程師們充分考慮到用戶的操作體驗(yàn),使得油和濾芯的更換過程變得極為簡單和高效,。用戶無需耗費(fèi)大量時(shí)間和精力即可完成這些維護(hù)工作,,這種人性化的設(shè)計(jì)極大地優(yōu)化了設(shè)備的日常管理,減少了停機(jī)時(shí)間,,使得整個(gè)系統(tǒng)的可用性得到了顯著提升,。

2. 特點(diǎn)

水冷和強(qiáng)制給油

在高負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)下也能滿足缸體的供油,,排氣性能比壓差給油更穩(wěn)定,。使用

壓油防吸系統(tǒng)泵停轉(zhuǎn)時(shí),,可以防止油從油箱倒吸至吸氣端,。

3. 維保便捷性

除使用了可時(shí)刻監(jiān)測油狀態(tài)的大型油位計(jì)外,還設(shè)計(jì)了油箱清洗,、更換排氣閥等時(shí)的便捷蓋,。 

4. 用途

光學(xué)膜蒸鍍設(shè)備

反射器蒸鍍設(shè)備

裝飾用蒸鍍設(shè)備

薄膜卷繞蒸鍍設(shè)備

內(nèi)嵌濺射設(shè)備

烘烤爐 /熱處理爐

凍干設(shè)備

檢漏設(shè)備




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