1. 產品概述：

單腔立式甩干機是一種用于實現物料高效脫水的設備,。其通過特定的機械結構和工作原理,，能快速將物料中的水分分離出去,，達到甩干的目的,。

2. 設備應用：

o 半導體行業(yè)：在半導體制造過程中,，可用于晶圓等半導體材料的清洗后脫水，確保晶圓表面干燥,，避免水分殘留對后續(xù)工藝產生影響,，例如在光刻、鍍膜等工序前,，保證晶圓的潔凈度和干燥度，有助于提高半導體產品的質量和性能 1,。

o 電子元件制造：對電子元件進行清洗后的脫水處理,，能有效去除元件表面的水分，防止水分對元件的性能和可靠性造成損害,，如在印刷電路板（PCB）制造中，可使清洗后的 PCB 快速干燥,，為后續(xù)的焊接、組裝等工序提供良好條件,。

3. 設備特點：

優(yōu)點：清洗系統應用于各種清洗和干燥工藝,。不同配置（可放置臺面操作的設備、單腔單立、雙腔）,；適用于晶圓尺寸200mm；佳的占地,，設備帶有滾輪可移動；可靠性,；模塊化結構,；其便于維修,；易于使用和操作,。

一般特征：適用于晶圓直徑至200mm,；25片晶圓單盒工藝；標準的高邊和低邊花籃,；可選內置電阻率檢測傳感器來控制晶圓的清洗工藝,；用冷或熱的N2輔助晶圓干燥；離心頭容易更換。

去靜電裝置安裝于工藝腔室區(qū)：去離子水回收,；去阻率檢測裝置,；機械手自動加載；可放置臺面操作的設備,、單腔單立、雙腔,；去離子水加熱系統,；底座置放不銹鋼滾輪；溶劑滅火裝置,；適用特殊設計的花籃,。