1. 產(chǎn)品概述

SE 401adv 通過映射高達 200 毫米的液體單元,、用于原位測量的液體單元、攝像機,、自動對焦,、模擬軟件和經(jīng)過認證的標準晶圓，可根據(jù)您的需求進行調(diào)整,。

2. 主要功能與優(yōu)勢

亞埃精度

穩(wěn)定的氦氖激光器保證了 0.1 ? 的精度,，用于超薄單層的薄膜厚度測量。

高速

SENTECH SE 401adv 激光橢偏儀的測量速度使用戶能夠監(jiān)測單片生長和終點檢測,，或繪制樣品的均勻性圖譜,。

測量的橢圓角具有高穩(wěn)定性和再現(xiàn)性

原位橢偏儀 SE 401adv 可用于監(jiān)測反射樣品表面不同環(huán)境因素的生長和蝕刻過程。它測量橢圓角度 Ψ 和 Δ 的時間依賴性,，并實時計算厚度和折射率 

3. 靈活性和模塊化

SENTECH SE 401adv 原位激光橢偏儀可用于從可選的,、特定于應(yīng)用的入射角表征單個薄膜和基板。自動準直望遠鏡可確保在大多數(shù)具有平坦反射表面的吸收性或透明基材上進行精確測量,。集成的多角度測量支持（40° – 90°,，步長為 5°）可用于確定層堆疊的厚度、折射率和消光系數(shù),。

SENTECH SE 401adv是用于超薄單膜厚度測量的激光橢偏儀,。SENTECH SE 401adv 原位激光橢偏儀的選件支持微電子、光伏,、數(shù)據(jù)存儲,、顯示技術(shù)、生命科學、金屬加工以及更多沿技術(shù)中的應(yīng)用,。

SENTECH SE 401adv 通過映射高達 200 毫米的液體單元,、用于原位測量的液體單元、攝像機,、自動對焦,、模擬軟件和經(jīng)過認證的標準晶圓，可根據(jù)您的需求進行調(diào)整,。