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IVG-2040/3040 --全自動(dòng)單軸減薄機(jī)

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減薄機(jī)半導(dǎo)體前道工藝

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備,、后道封裝裝備,、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù),、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),,軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,,光刻機(jī),,納米壓印、磁控濺射,,電子束蒸發(fā)

1 產(chǎn)品概述:

全自動(dòng)單軸減薄機(jī)是一款高精度,、高效率的研削設(shè)備,專為半導(dǎo)體制造,、硅片加工,、光學(xué)材料處理及薄膜材料制備等領(lǐng)域設(shè)計(jì)。該設(shè)備集成了全自動(dòng)上,、下片系統(tǒng),,采用先進(jìn)的晶圓機(jī)械手取片技術(shù),結(jié)合自動(dòng)對(duì)中,、清洗,、干燥功能,實(shí)現(xiàn)了從盒到盒,、干進(jìn)干出的全自動(dòng)減薄拋光研削加工流程,。全自動(dòng)單軸減薄機(jī)以其性能和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,在現(xiàn)代精密制造領(lǐng)域中占據(jù)重要地位,。

 

2 設(shè)備用途:

全自動(dòng)單軸減薄機(jī)的主要用途包括:

  1. 半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,,對(duì)晶圓進(jìn)行精確減薄,以滿足后續(xù)工藝對(duì)晶圓厚度的嚴(yán)格要求,。

  2. 硅片加工:對(duì)硅片進(jìn)行高精度研削,,調(diào)整硅片厚度,,提高硅片的質(zhì)量和加工效率。

  3. 光學(xué)材料處理:在光學(xué)材料制備過(guò)程中,,對(duì)材料進(jìn)行精確減薄,,以滿足光學(xué)元件對(duì)材料厚度和表面粗糙度的特殊要求。

  4. 薄膜材料制備:在薄膜材料制備領(lǐng)域,,全自動(dòng)單軸減薄機(jī)可用于對(duì)薄膜進(jìn)行精確控制厚度的研削加工,。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

全自動(dòng)單軸減薄機(jī)具有以下顯著特點(diǎn):

  1. 高精度:采用先進(jìn)的研磨技術(shù)和精密的控制系統(tǒng),確保減薄加工的高精度和一致性,。厚度在線測(cè)量重復(fù)精度可達(dá)±0.001 mm,,滿足高精度加工需求。

  2. 全自動(dòng)化:配備全自動(dòng)上,、下片系統(tǒng),,實(shí)現(xiàn)晶圓從取片到加工完成的全自動(dòng)化流程,減少人工干預(yù),,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,。

  3. 兼容性好:可磨削各類半導(dǎo)體材料,適應(yīng)2-12英寸晶圓減薄,,滿足不同尺寸和材料的加工需求,。

  4. 功能全面:具備自動(dòng)厚度測(cè)量、多段研削程序,、超負(fù)載等待等功能,,可根據(jù)不同工藝需求進(jìn)行靈活設(shè)置和調(diào)整。

綜上所述,,全自動(dòng)單軸減薄機(jī)以其高精度,、全自動(dòng)化、兼容性好,、功能全面和高效能等特點(diǎn),,在半導(dǎo)體制造、硅片加工,、光學(xué)材料處理及薄膜材料制備等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用,。隨著科技的進(jìn)步和市場(chǎng)需求的增長(zhǎng),全自動(dòng)單軸減薄機(jī)將繼續(xù)保持地位,,并不斷推動(dòng)相關(guān)行業(yè)的發(fā)展,。

4  設(shè)備參數(shù):

項(xiàng)目

IVG-2040

IVG-3040

大晶圓尺寸

8英寸

12英寸

砂輪規(guī)格

?203(OD)mm

?303(OD)mm

砂輪軸功率

6.0kW

9.5kW

砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍

0~6000 RPM

0~4000 RPM

工作臺(tái)轉(zhuǎn)速

0~380 RPM

0~380 RPM

Z軸進(jìn)給速度

0.1~1000 um /sec

0.1~1000 um /sec

厚度在線測(cè)量重復(fù)精度

±0.001 mm

±0.001 mm

厚度在線測(cè)量范圍(OMM

0-4800um

0-4800um

全自動(dòng)上下片系統(tǒng)

NCG非接觸實(shí)時(shí)測(cè)厚系統(tǒng)

可選配

可選配





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