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SU8600 日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡

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玉崎科學儀器(深圳)有限公司是京都玉崎株式會社全資設立的中國子公司,專業(yè)從事國內貿易/國際貿易業(yè)務,,主要經營光學設備,、電子計測儀器、科學儀器,、機械設備,、環(huán)境試驗設備、PC周邊用品,、作業(yè)工具用品,、電源、化學用品,、FA自動化多類上萬種產品的銷售,。公司憑借優(yōu)秀的渠道管理能力,可控的交期和匹配的物流體系,,科學嚴謹?shù)漠a品質量,,專業(yè)的線下服務能力,為客戶提供極有競爭力的價格以及各方位的技術支持

 

 

 

 

 

 

真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設備,環(huán)境測量設備 環(huán)境檢測設備

應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,綜合

日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡

日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡


特點

超高分辨成像


日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下,,也可獲得超高分辨的圖像,。



日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡
日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡



0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實例。左圖為顆粒整體的形貌,右圖為放大圖像,,顆粒表面細微的臺階結構清晰可見,。低電壓觀察對于減少電子束損傷和獲取表面形狀信息較為有效。



樣品提供:日本工業(yè)技術綜合研究所 上村 佳大 先生



高襯度的低加速電壓背散射圖像


3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下,,背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別,。



日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡3D NAND截面觀察(加速電壓:1.5kV)

快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時間不到1秒,,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像.


日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡

5納米制程SRAM的內部結構觀察 (加速電壓:30kV,,掃描時間<1秒)


先進的自動化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,,如設置放大倍率,、移動樣品位置、調節(jié)焦距和明暗對比度等,。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經過調試和確認后,,該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量,、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡

靈活的用戶界面


原生支持雙顯示器,,提供靈活,、高效的操作空間,。6通道同時顯示與保存,實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集,。



日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡



1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示,,可切換內容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機??梢酝ㄟ^使用兩個顯示器來擴展工作空間,,可定制的用戶界面以提高工作效率。




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