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TLB-360FM/485FM 全自動液體蠟貼片機

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貼片機

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備,、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備,、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù),。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,,是創(chuàng)新型中小企業(yè),、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,,快速退火爐,,光刻機,納米壓印,、磁控濺射,,電子束蒸發(fā)

1.  產(chǎn)品概述:

全自動液體蠟貼片機是一種高度自動化的設(shè)備,主要用于在半導(dǎo)體制造過程中,,將晶片(如硅片)精確地鍵合到載具(如陶瓷盤)上,。該設(shè)備通過自動化流程,如滴蠟,、甩蠟,、烘烤、貼片,、加壓和冷卻等步驟,,完成晶片的貼附工作。

2.  設(shè)備用途/原理:

全自動液體蠟貼片機集成了機--光和計算機控制系統(tǒng)技術(shù),,通過精密的機械手或傳動系統(tǒng),,實現(xiàn)晶片的自動取放、定位,、涂蠟,、烘烤和壓片等操作。整個過程中,,設(shè)備能夠精確地控制每個步驟的參數(shù),,如甩蠟轉(zhuǎn)速、烘烤溫度,、壓片力度等,,以確保晶片貼附的精度和質(zhì)量。全自動液體蠟貼片機廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,、微電子封裝,、光電技術(shù)等領(lǐng)域,是這些行業(yè)中關(guān)鍵設(shè)備之一,。它能夠提高生產(chǎn)效率,、降低生產(chǎn)成本、提升產(chǎn)品質(zhì)量,,并有助于推動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)升級,。

3.  設(shè)備特點

1 高度自動化:全自動液體蠟貼片機能夠?qū)崿F(xiàn)從晶片取放到最終貼附的全程自動化,減少人工干預(yù),,提高生產(chǎn)效率和一致性,。

2 高精度:設(shè)備采用先進(jìn)的控制系統(tǒng)和精密的機械結(jié)構(gòu),,能夠確保晶片貼附的精度和位置準(zhǔn)確性。

3 多功能性:通過搭配不同的夾具和工藝參數(shù),,該設(shè)備可以適應(yīng)不同尺寸,、不同厚度的晶片貼附需求。

4 易操作性:設(shè)備通常采用PLC觸摸屏控制,,界面友好,,操作簡便,易于上手和維護(hù),。


  4. 性能參數(shù)


規(guī)格/參數(shù)

TLB-360FM

TLB-485FM

晶圓尺寸

2-6 inch

4-8 inch

陶瓷盤規(guī)格

OD360 mm

OD485 mm

上片方式

全自動

全自動

清洗工位

純水+PVA

純水+PVA

甩蠟轉(zhuǎn)速

0-3000 RPM

0-3000 RPM

烘烤溫度

Max350℃

Max350℃

壓片裝置

氣囊+氣缸二段壓片

氣囊+氣缸二段壓片

加熱溫度

Max250℃

Max250℃

陶瓷盤冷卻系統(tǒng)




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