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鈣鈦礦鍍膜設(shè)備

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      江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以 高檔專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器開發(fā)為目標(biāo)的海歸創(chuàng)業(yè)企業(yè),。公司主營(yíng)高檔實(shí)驗(yàn)室儀器及半導(dǎo)體設(shè)備開發(fā)業(yè)務(wù),。公司技術(shù) 力量雄厚,,人才濟(jì)濟(jì),憑借雄厚的技術(shù)實(shí)力不斷進(jìn)行新產(chǎn)品開發(fā)和創(chuàng)新實(shí)現(xiàn), 在納米薄膜制備類儀器領(lǐng)域取得了顯著的市場(chǎng)地位,。公司生產(chǎn)的高精度高可 靠性勻膠機(jī)榮獲江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品,是國(guó)內(nèi)勻膠機(jī)全系列,、多功能,、定制 化服務(wù)的供應(yīng)商

      公司生產(chǎn)和銷售不同領(lǐng)域的高檔科研儀器和工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類設(shè)備品牌,,主要有勻膠機(jī),、顯影機(jī)、 烤膠機(jī),、提拉機(jī),、噴膠機(jī)、涂膜機(jī),、狹縫涂布機(jī)等相關(guān)產(chǎn)品,;L EB O science®是我們的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備品牌,主要有勻膠機(jī),、顯影機(jī),、蝕刻機(jī)、 去膠機(jī),、清洗機(jī)等獨(dú)立柜式機(jī)臺(tái)及工業(yè)全自動(dòng)機(jī)臺(tái),。 公司產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽能、有機(jī)光 電,、MEMS,、聲表,、光通訊、化合物半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝等領(lǐng)域,,具有核心技 術(shù)可靠,、高性價(jià)比、定制化服務(wù)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),。

 

勻膠機(jī),、顯影機(jī)、烤膠機(jī),、刻蝕機(jī),、清洗機(jī)

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 5萬-10萬
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合
鈣鈦礦鍍膜設(shè)備主要由有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng),、真空測(cè)量系統(tǒng),、蒸發(fā)源、樣品加熱控溫,、電控系統(tǒng),、配氣系統(tǒng)等部分組成。適用于制備金屬單質(zhì)薄膜,、半導(dǎo)體薄膜,、氧化物薄膜、有機(jī)薄膜等,,可用于科研單位進(jìn)行新材料,、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作,,廣泛應(yīng)用于有機(jī),、無機(jī)、鈣鈦礦薄膜太陽能電池,、OLED等研究領(lǐng)域,。
 

 

  功能特點(diǎn)
  • 樣品位于真空室上方,蒸發(fā)源位于真空室下方,,向上蒸發(fā)鍍膜,且蒸發(fā)源帶有擋板裝置,。
  • 設(shè)有烘烤加熱功能,,可在鍍膜過程中加熱樣品,最高烘烤加熱溫度為180℃,。
  • 設(shè)有斷水,、斷電連鎖保護(hù)報(bào)警裝置及防誤操作保護(hù)報(bào)警裝置。
  技術(shù)參數(shù)
鍍膜室 不銹鋼材料,,采用方形前后開門結(jié)構(gòu),,內(nèi)帶有防污板,,腔室尺寸約為600mm×450mm×450mm
真空排氣系統(tǒng) 采用分子泵+機(jī)械泵系統(tǒng)
真空度 鍍膜室極限真空≤6×10-4Pa
系統(tǒng)漏率 ≤1×10-7Pa
蒸發(fā)源 安裝在真空室的下底上;有機(jī)蒸發(fā)源4個(gè),、容積5ml,,2臺(tái)蒸發(fā)電源,可測(cè)溫,、控溫,,加熱溫度400℃,功率0.5KW,;無機(jī)蒸發(fā)源4套,、容積5ml,2臺(tái)蒸發(fā)電源,,加熱電流300A,,功率3.2KW;蒸發(fā)源擋板采用自動(dòng)磁力控制方式控制其開啟
樣品架 安裝在真空室的上蓋上,,可放置Ø120mm的樣品,、載玻片,旋轉(zhuǎn)速度0-30rpm
加熱溫度 RT-180℃,,測(cè)溫,、控溫
膜厚控制儀 石英晶振膜厚控制儀,膜厚測(cè)量范圍0-999999Å


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