1. 產(chǎn)品概述

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng),，磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計有效提高靶材利用率,。

2. 設(shè)備用途/原理

Polaris系列 12英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，磁控濺射源和腔室結(jié)構(gòu)的設(shè)計有效提高靶材利用率,，靈活的腔室配置,，針對優(yōu)良封裝域優(yōu)化、穩(wěn)定的傳輸系統(tǒng),，兼容玻璃片,、翹曲片,、鍵合片等多種類型基片傳輸，穩(wěn)定并且低的Rc表現(xiàn),，良好的顆粒和應(yīng)力控制能力,，優(yōu)化的工藝流程帶來大產(chǎn)能表現(xiàn)，低運(yùn)營成本,。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 12英寸,，適用材料 銅、鈦,、氮化鈦,、鉭、氮化鉭,、鎢化鈦,、金、鋁等,，適用工藝 電,、優(yōu)良封裝中的UBM/RDL，適用域 新興應(yīng)用,、優(yōu)良封裝,。