1. 產(chǎn)品概述

Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng),，優(yōu)異的均勻性,、一致性、穩(wěn)定性控制,，MOCVD 即金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積,，是一種用于生長(zhǎng)化合物半導(dǎo)體薄膜的技術(shù)。它通過(guò)將Ⅲ族元素的有機(jī)化合物和氨氣或氧氣等作為晶體生長(zhǎng)源材料,，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延,，生長(zhǎng)各種化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

2. 設(shè)備用途/原理

Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng),，優(yōu)異的均勻性,、一致性、穩(wěn)定性控制,，盒對(duì)盒全自動(dòng)傳輸系統(tǒng),，優(yōu)良的實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)，友好界面與配方編輯功能,，滿足 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn),。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 4、6,、8 英寸,，沉積材料 氮化鎵、砷化鎵,、磷化銦。適用材料 硅,、碳化硅,、氧化鋁、砷化鎵,、磷化銦,。適用領(lǐng)域 科研、集成電路,、化合物半導(dǎo)體,。