1. 產(chǎn)品概述

Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng)，優(yōu)異的均勻性,、一致性,、穩(wěn)定性控制，MOCVD 即金屬有機物化學(xué)氣相沉積,，是一種用于生長化合物半導(dǎo)體薄膜的技術(shù),。它通過將Ⅲ族元素的有機化合物和氨氣或氧氣等作為晶體生長源材料,，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進行氣相外延，生長各種化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料,。

2. 設(shè)備用途/原理

Satur系列 多片式MOCVD系統(tǒng),，優(yōu)異的均勻性、一致性,、穩(wěn)定性控制,，盒對盒全自動傳輸系統(tǒng)，優(yōu)良的實時監(jiān)控系統(tǒng),，友好界面與配方編輯功能,，滿足 SEMI S2 安全標準。

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸 4,、6,、8 英寸，沉積材料 氮化鎵,、砷化鎵,、磷化銦。適用材料 硅,、碳化硅,、氧化鋁、砷化鎵,、磷化銦,。適用領(lǐng)域 科研、集成電路,、化合物半導(dǎo)體,。