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Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號(hào) Esther/Eris 系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 11:20:14
- 訪問次數(shù) 358
Esther/Eris 系列8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)北方華創(chuàng)
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1. 產(chǎn)品概述
Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng),,傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途,,友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全,、高效,,具有單腔和多腔兩種機(jī)型,可滿足不同客戶需求,。
2. 設(shè)備用途/原理
Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng),,Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng),傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途,。友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定,、安全、高效,,具有單腔和多腔兩種機(jī)型,,可滿足不同客戶需求。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 6,、8 英寸,,適用材料 硅,適用工藝 常壓:N&P 常壓硅外延,,減壓:埋層外延,、選擇性外延、多晶外延,,適用域 科研,、集成電路。