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Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 北方華創(chuàng)
  • 型號(hào) Esther/Eris 系列
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2024/9/5 11:20:14
  • 訪問次數(shù) 358

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備,、后道封裝裝備,、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù),、保養(yǎng),、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),,軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè),、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè),。










冷熱臺(tái),快速退火爐,,光刻機(jī),,納米壓印,、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng),,傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途,,友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定、安全,、高效,,具有單腔和多腔兩種機(jī)型,可滿足不同客戶需求,。

2. 設(shè)備用途/原理

Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng),,Esther/Eris 系列 8英寸單片常壓/減壓硅外延系統(tǒng)傳輸系統(tǒng)和工藝模塊設(shè)計(jì)可兼容多種工藝用途,。友好的人機(jī)交互和安全性設(shè)計(jì)保障系統(tǒng)穩(wěn)定,、安全、高效,,具有單腔和多腔兩種機(jī)型,,可滿足不同客戶需求

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 6,、8 英寸,,適用材料 適用工藝 常壓:N&P 常壓硅外延,,減壓:埋層外延,、選擇性外延、多晶外延,,適用域 科研,、集成電路



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