1. 產品概述：

Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具,，其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置，包括需要集成電子束技術的應用,。該系統(tǒng)采用生產設計技術,，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實現理想的實驗室到晶圓廠遷移,。 

材料研究和預生產環(huán)境的理想選擇

垂直源到基板方向,，具有 12 個 MBE 源端口和添加電子束功能的選項

手動或自動晶圓轉移選項可配置的低溫板,、機械手、百葉窗和原位監(jiān)測設備

模塊化設計允許多兩個增長模塊

Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具,，其設計可針對 III-V 族和新興材料進行配置,，包括需要集成電子束技術的應用。該系統(tǒng)采用生產設計技術,，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng),，以實現理想的實驗室到晶圓廠遷移。