SEM刻蝕子系統(tǒng)
- 公司名稱 上海昊量光電設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/6 16:10:09
- 訪問(wèn)次數(shù) 1059
聯(lián)系方式:馬小姐15601689581 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!
激光器調(diào)制器,激光測(cè)量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測(cè)器光子計(jì)數(shù)器,專用實(shí)驗(yàn)設(shè)備,相機(jī)
價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-30萬(wàn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
---|---|---|---|
組件類別 | 其他 |
SEM刻蝕子系統(tǒng)
XENOS刻寫子系統(tǒng)是一種允許設(shè)計(jì)圖案數(shù)據(jù)并產(chǎn)生用于帶電粒子束(例如用于半導(dǎo)體光刻應(yīng)用或聚焦離子束系統(tǒng)的電子束)轉(zhuǎn)向的相應(yīng)偏轉(zhuǎn)信號(hào)的系統(tǒng),??梢赃B接到傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡、FIB或雙光設(shè)備上,,升級(jí)系統(tǒng),,在半導(dǎo)體或其他材料上進(jìn)行納米光刻。
高速刻寫
可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)40MHz的像素速率,。由于采用了智能寫入算法,,可以考慮當(dāng)前SEM的有限偏轉(zhuǎn)帶寬。優(yōu)化的數(shù)據(jù)傳輸和穩(wěn)定時(shí)間計(jì)算與高寫入速度相匹配,,以提供快速寫入的所有優(yōu)點(diǎn),。
智能且通用的格式
使用三階多項(xiàng)式掃描邏輯,,可以僅基于硬件以Max速度生成和寫入這些多項(xiàng)式。因此,,圓形,、環(huán)形或橢球體可以由同心的單像素環(huán)書寫,,通常在曝光過(guò)程中不需要消隱,。并且,可以用Min的數(shù)據(jù)開銷和傳輸時(shí)間來(lái)實(shí)現(xiàn)理想的寫入速度和近似質(zhì)量,。此外,,與結(jié)構(gòu)的多邊形部分的光柵掃描相比,偏轉(zhuǎn)信號(hào)的正弦形狀消耗的偏轉(zhuǎn)帶寬要小得多,。同時(shí),寫入算法對(duì)稱地使用X軸和Y軸的帶寬,。
高靈活性
模塊化系統(tǒng)可以進(jìn)行配置,以滿zu您的需求,。邏輯配置和DSP內(nèi)核可以在幾分鐘內(nèi)更新,以提供新功能,。
配置高,,應(yīng)用界面友好
完整的偏轉(zhuǎn)信號(hào)生成是在每軸16/32位的可編程邏輯器件中實(shí)現(xiàn)的。特別是場(chǎng)校正不使用帶寬限制的乘法模擬DAC,,而是數(shù)字構(gòu)建的,,工作到Max寫入速度,而在產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)信號(hào)中沒有任何失真,。
控制軟件ECP基于Linux或Windows使用,,CAD部分可在工作組中自由使用。
SEM刻蝕子系統(tǒng)應(yīng)用圖例:
** 進(jìn)一步配置要求,,詳情可咨詢上海昊量光電設(shè)備有限公司,。
更多詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電
關(guān)于昊量光電:
上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器,、光電調(diào)制器,、光學(xué)測(cè)量設(shè)備,、光學(xué)元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工,、光通訊,、生物醫(yī)療,、科學(xué)研究、國(guó)防,、量子光學(xué),、生物顯微,、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,,培訓(xùn),,硬件開發(fā),軟件開發(fā),,系統(tǒng)集成等服務(wù),。