桌面微型紫外光刻機(jī)

1. 產(chǎn)品介紹
   桌面微型紫外光刻機(jī),，專為微米級圖案制作而設(shè)計(jì)，旨在保障圖形轉(zhuǎn)移精度,。設(shè)備采用紫外LED冷光源,，結(jié)合雙非球面石英透鏡，可生成半角<2°的平行光,，相較傳統(tǒng)接觸式曝光機(jī),，其緊湊的體積將移形換影置于桌面之上，為操作提供了便利與精準(zhǔn),。
   該光刻機(jī)廣泛適用于微流控芯片,、MEMS器件、光電子器件以及聲表面波器件等制備領(lǐng)域,。其性能尤其適合高校,、科研院所以及企業(yè)展開微細(xì)加工工藝研究。緊隨現(xiàn)代技術(shù)的步伐,，桌面微型光刻機(jī)的問世為微納加工注入了新的活力,，助力客戶在項(xiàng)目目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)過程中邁向更高精度、更具創(chuàng)新性的階段,。

2. 技術(shù)參數(shù)

   曝光光源:紫外LED,；

        光源波長:365nm;

        曝光面積:4英寸、6英寸可選;

        曝光方式:單面接觸式定時曝光,；

        曝光分辨率:2um;

        曝光強(qiáng)度:30~120mW/cm2可調(diào),；

        曝光不均勻性:<5%;

        光源平行性:≤2°

        光源壽命:>20000h;

        電源輸入:AC220V+10V，50HZ