3PC1-001-0000 INFICON復合真空計
- 公司名稱 福建石屹科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 3PC1-001-0000
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/6/11 15:29:35
- 訪問次數(shù) 217
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| 應用領域 | 環(huán)保,建材,電子,電氣,綜合 |
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INFICON復合真空計
INFICON復合真空計
按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,，可將主要的真空計分為三大類,，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計,。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī),；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣,，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標定,。
熱陰極電離規(guī)
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa,。
圖5 熱陰極電離規(guī)
如圖5所示，熱陰極電離規(guī)中,，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子,，由收集極收集產(chǎn)生的離子,，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,，進而得到氣壓大小,。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經(jīng)改進后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī),，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa,。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標定
在較高壓力時(10～1Pa)利用壓力差U型管壓力計,，麥克勞真空計,，薄膜計，彈簧管壓力計等,。
在10～10Pa的中間壓力范圍,，利用氣體性質(zhì)(熱傳導，粘性)的變化而做成的皮氏計,、粘性真空計,。
在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計,。
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INFICON PCG550 3PC1-001-0000
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